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半導體車間測量塵埃粒子濃度等級儀器解決方案

2022-03-16 18:19:25 瀏覽次數(shù):

  塵埃粒子計數(shù)器是用于測量潔凈環(huán)境中單位空氣體積內塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器,不過在生產(chǎn)過程中環(huán)境的情況往往是變化的,原材料的進出、人員的更換以及產(chǎn)品的變化都將對潔凈室的潔凈程度有所影響。往往在一個班次開始時環(huán)境是滿足要求的,而在結束時發(fā)現(xiàn)粒子數(shù)超出了標準。由于人工監(jiān)測無法提供連續(xù)監(jiān)測數(shù)據(jù),因此無法估計系統(tǒng)是在何時偏離了規(guī)定工況,更無法估計產(chǎn)品的質量情況。

  在線塵埃粒子計數(shù)器優(yōu)勢

  這就違背了保證潔凈室空氣質量,進而提高產(chǎn)品質量的初衷。賽納威遠程式粒子計數(shù)器能夠實時監(jiān)測潔凈室內懸浮顆粒的個數(shù)并及時報警,7*24小時的連續(xù)不間斷監(jiān)測,最大程度保證產(chǎn)品在全流程生產(chǎn)工序中免受污染,提升產(chǎn)品質量,被廣泛應用在醫(yī)藥、電子、食品、航空航天、生物工程、精密加工等領域。

  客戶一般采用粒子計數(shù)器來針對作業(yè)環(huán)境進行檢測,在國內相關檢測設備需要符合國家計量總局頒布的 JJF1190-2008《塵埃粒子計數(shù)器校準規(guī)范》規(guī)程的技術要求,常見的塵埃粒子計數(shù)器是光散射式(APC)的,測量粒徑范圍0.1-10μm,此外還有凝聚核式的塵埃粒子計數(shù)器(CNC),可測量尺寸更小的塵埃粒子。本文將介紹光散射式塵埃粒子計數(shù)器。

  塵埃粒子計數(shù)器工作原理

  空氣中的微粒在光的照射下會發(fā)生散射,這種現(xiàn)象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關。但是就散射光強度和微粒大小而言,微粒散射光的強度隨微粒的表面積增加而增大。

  

  塵埃粒子計數(shù)器工作流程

  首先,真空泵系統(tǒng)使待檢測氣體按規(guī)定流量通過粒子計數(shù)器激光頭,氣體中的塵埃粒子將散射粒子計數(shù)器中的激光信號,從而使其中的光學傳感器接受并產(chǎn)生脈沖信息號。 其次,脈沖信息號被輸出并放大,然后進行數(shù)字信號處理,通過與標準粒子信號進行比較,將對比結果用不同的參數(shù)表示出來。電脈沖數(shù)量對應于微粒的個數(shù),電脈沖的幅度對應于微粒的大小。

  塵埃粒子計數(shù)器注意事項

  1、當進口管被蓋住或被堵塞,不要啟動計數(shù)儀。

  2、粒子計數(shù)器應該在潔凈環(huán)境下使用,以防止對激光傳感器的損傷。

  3、不要測有可能產(chǎn)生反應的混合氣體(如氫氣和氧氣)。這此氣體也可能在計數(shù)器內產(chǎn)生爆炸。測這些氣體需與廠家聯(lián)系為取得更多的信息。

  4、沒有高壓減壓設備(如高壓擴散器)不要取樣壓縮空氣,所有的顆粒計數(shù)儀被設計用于在一個大氣壓下操作。

  5、水,溶液或其它液體都不能從入口管進入傳感器。

  6、顆粒計數(shù)儀主要用來凈化車間干凈的環(huán)境, 儀器檢測檢定當測的地方有松散顆粒的材質,灰塵源,噴霧處時,須保持距進口管至少十二英寸遠。以免以上的顆粒及液體污染傳感器及管路。

  7、取樣時,僻免取樣從計數(shù)器本身排出來的或被計數(shù)器出來的氣體所污染的氣體。

  8、在連接外置打印機或連接外接溫濕度傳感器時,需先關掉計數(shù)器;當執(zhí)行打印操作時,打印機上須有打印紙, 長度計量校準實驗室否則會損傷打印頭。

  潔凈室(區(qū))空氣潔凈度級別表:(ISO14644-1部分內容)

  

  

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