以芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵車(chē)間和圓盤(pán)制造車(chē)間為代表的電子凈化車(chē)間的設(shè)計(jì)，不僅嚴(yán)格控制顆粒，而且嚴(yán)格控制溫度、濕度、照度(甚至光源要求)等，以消除靜電對(duì)生產(chǎn)產(chǎn)品的影響，使環(huán)境能夠滿(mǎn)足清潔環(huán)境下電子產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝要求。

 

潔凈室(區(qū))的溫濕度應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)過(guò)程的要求來(lái)確定，當(dāng)生產(chǎn)過(guò)程沒(méi)有具體要求時(shí)，溫度可采用20℃26℃，相對(duì)濕度為30%70%。人員凈化室和家用房間的溫度可達(dá)16℃。按照符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織標(biāo)志的國(guó)標(biāo)GB-50073 1-9級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，風(fēng)流為單向流動(dòng)或混合流動(dòng)，風(fēng)速為0.2~0.45m≤6，無(wú)單向流動(dòng)，通風(fēng)頻率為50~60/h≤7，通風(fēng)次數(shù)為15~25/h，8~9級(jí)為非單向流動(dòng)，通風(fēng)次數(shù)為10~15次/h。

 

根據(jù)現(xiàn)行規(guī)范，電子制造工廠一萬(wàn)級(jí)潔凈室的噪聲水平(空狀態(tài))不得大于65 dB(A)。

 

1.垂直流動(dòng)潔凈室全布比不應(yīng)小于60%，水平單向流動(dòng)潔凈室不應(yīng)小于40%，否則為局部單向流動(dòng)。

 

2、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10 Pa，不同空氣清潔度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的靜壓差不應(yīng)小于5 Pa。

 

3、電子制造業(yè)萬(wàn)級(jí)潔凈室的新風(fēng)量應(yīng)是以下兩項(xiàng)之一。

 

4.補(bǔ)償室內(nèi)排氣量及維持房間正壓值所需的新風(fēng)量之和。

 

5.確保潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣不少于每小時(shí)40。