潔凈室，又稱潔凈室或潔凈室。潔凈室是指在一定的空間范圍內(nèi)清除空氣中的顆粒、有害空氣、細菌和其他污染物，以及室內(nèi)溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲振動和照明、靜電控制在一定的要求范圍內(nèi)，并給出專門設(shè)計的房間。也就是說，無論外部空氣條件如何變化，室內(nèi)都能保持原有的潔凈度、溫濕度和壓力等特性。

潔凈室的主要功能是控制與產(chǎn)品(如硅片等)接觸的空氣的清潔度和溫濕度，使產(chǎn)品能在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)和制造，我們稱之為潔凈室。

潔凈室等級：世界各國都有自己定義的規(guī)格，但一般采用美國聯(lián)邦標準209。美國聯(lián)邦標準FS209D是基于英國每立方英尺，而日本是公制，即每立方米和0.1μm微粒子。日本標準由1級、2級、3級8級代表。日本標準以1級、2級、3級8級為代表，如果高等級為1級，較低標準為8級，則可通過取其指數(shù)來獲得10在每立方米塵埃顆?？倲?shù)中的功率功率。