凈化車間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定的，但在滿足工藝要求的情況下，應(yīng)考慮人的舒適性。隨著空氣潔凈度要求的提高，對溫濕度的工藝要求越來越嚴格。

 

今后應(yīng)列舉具體工藝的溫度要求，但作為一般原則，由于加工精度越來越高，對溫度波動范圍的要求越來越小。例如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光過程中，作為掩模材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)之差越來越小。直徑100μm的硅片，當溫度升高1度時，會引起0.24μm的線膨脹，所以必須有±0.1度的恒定溫度，濕度值一般較低，因為出汗后會對產(chǎn)品造成污染，特別是半導(dǎo)體車間，它怕鈉，不應(yīng)超過25度。

 

空氣清潔度等級標準和規(guī)范

 

經(jīng)濟技術(shù)發(fā)達的國家和地區(qū)有自己的空氣潔凈度標準和標準，并規(guī)定了美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等國家和地區(qū)的相關(guān)潔凈度等級。1984年，中國頒布了"潔凈廠房設(shè)計規(guī)范"(GBJ73-84)，1996年對"潔凈廠房設(shè)計規(guī)范"進行了大幅度修訂，1990年頒布了"潔凈室建設(shè)驗收規(guī)范"(JGJ 71-90)，指導(dǎo)重要文件的建設(shè)和驗收。目前，規(guī)范正在修訂中。

 

大多數(shù)潔凈車間，特別是電子工業(yè)的車間，不僅對工廠的溫濕度有嚴格的要求，而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴格的要求。因此，應(yīng)采取相應(yīng)的措施來凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理，如夏季的冷卻和除濕(因為室外空氣在夏季是高溫高濕)，冬季的取暖和加濕(因為冬季的室外空氣寒冷干燥，室內(nèi)濕度過低會產(chǎn)生靜電，靜電對電子產(chǎn)品的生產(chǎn)是致命的)。