清潔技術，又稱生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術，是近年來隨著高新技術的發(fā)展而發(fā)展起來的一項綜合性新科技。清潔技術通常包括：空氣凈化技術、空調(diào)技術、凈水技術、氣體凈化技術、微型彈匣控制技術、清潔環(huán)境檢測技術及相關的環(huán)境控制技術。凈化工程技術已廣泛應用于電子、核、航天、生物工程、制藥、精密機械、化工、食品、汽車制造等高新技術產(chǎn)業(yè)和現(xiàn)代科學中。
隨著我國科技水平的提高，人民的生活水平也有了很大的提高。人們對生活質量和生活環(huán)境提出了越來越高的要求，如空調(diào)凈化系統(tǒng)設備、凈水設備、空氣凈化器等凈化工程技術已開始進入千家萬戶，進入人們的現(xiàn)代生活。特別是在電子工業(yè)的發(fā)展中，它能更好地反映科技水平提高的速度，電子產(chǎn)品正逐步小型化、定量化、完善化，給我們帶來了一個快速、便捷、持久的時代。從某種意義上說，凈化工程技術已經(jīng)成為衡量國家和工業(yè)的重要標志。2020年凈化工程的發(fā)展趨勢和應用情況如何？
過去，中國清潔技術和設備與國外先進國家的差距是明顯的。1965年開始生產(chǎn)的HEPA過濾器比國外長15年。1975年開始生產(chǎn)的光散射塵埃粒子計數(shù)器比國外晚了20年。0.1微米的清潔技術和設備在世界先進國家已經(jīng)成為成熟的技術，而中國才剛剛起步。
在潔凈室建設的規(guī)模和技術水平上，中國與先進國家的差距更大。從1982年到1987年，日本清水建筑公司建成的潔凈室面積達到718000平方米，中國一年內(nèi)建成的潔凈室面積不足100000平方米，但在"八五"期間有了很大的發(fā)展。1993年建成的潔凈室總面積接近150000平方米，美國的潔凈室建設規(guī)模更大，1998年達到188.5萬平方米。
在清潔工程技術方面，到了20世紀80年代末，國外已經(jīng)建成了一大批0.1微米的超級潔凈室。1987年，日本的三洋新溪車間建造了3000平方米的潔凈廠房，NIT原木建造了41000平方米的千平米級工廠來控制0.1微米的粉塵，通風換氣的次數(shù)高達每分鐘300次。臺灣新的TSMCS工廠建造了一個總面積為10000平方米的第四代管道潔凈室。
潔凈車間在大規(guī)模集成電路制造設備投資中所占比例較高，這與集成電路技術的不斷更新和產(chǎn)品更新?lián)Q代周期的快速發(fā)展趨勢不相適應，嚴重制約了大規(guī)模集成電路技術的發(fā)展國內(nèi)使用的0.1微米和十級潔凈室主要依賴國外進口。由于高潔凈級潔凈室非常昂貴，0.1微米十級潔凈室每平方米售價高達1萬美元。美國ASYST公司和德國MW公司研發(fā)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設備和技術近年來得到廣泛應用。在100級潔凈度的潔凈廠房中，最新的潔凈技術采用工藝設備部分使用隔離技術的微環(huán)境，將投資比例壓縮到高級微環(huán)境，消除了操作人員和工藝設備運行的二次污染源對集成電路成品率和可靠性的影響
據(jù)中國電子特種設備工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計，1990年中國最大的8家凈化設備工廠的銷售額為8217萬元，不到1億元，1993年達到14495萬元，占國際市場銷售額的0.34%。然而，隨著我國高新技術的迅猛發(fā)展，微電子、光纖、液晶顯示、光電子器件、生物工程、制藥等行業(yè)的發(fā)展，我國清潔技術產(chǎn)品市場潛力正以每年40%≤50%的速度增長。因此，在未來，清潔市場上的蛋糕將是巨大的。
從價格競爭到價值競爭，隨著電子產(chǎn)品的集成化，加密化，小型化，功能化等趨勢，對元器件的可靠性要求越來越高，電子信息制造業(yè)對潔凈室的要求也更加嚴苛。"少量污濁或微弱的靜電可能導致元器件的成材率大幅降低，直接影響公司的效率。 目前硬盤磁頭的靜電電壓閾值已經(jīng)降低到3V以下，一些IC的封裝環(huán)境需要達到Class10'，甚至是class1'的水平。電子信息產(chǎn)業(yè)的技術發(fā)展和高性能要求推動清潔工程行業(yè)企業(yè)從價格競爭向技術競爭轉變。 只有具備技術研發(fā)和自主創(chuàng)新能力的企業(yè)，才能滿足客戶的需求并持續(xù)發(fā)展，才能設計建造符合要求的高端潔凈室。
潔凈廠房是我國能耗最大的家庭之一。據(jù)不完全統(tǒng)計，潔凈室能耗是普通辦公樓的10倍30倍。在我國8英寸芯片工廠，潔凈室單位面積能耗比美國同類型工廠高出15%。美國能源消耗為1.28kW/m2，美國能源消耗為1.63kW/m2，中國能源消耗為1.48kW/m~1.93kW/m2（來源:中國電子學會清潔分會）。 以上海某知名芯片廠為例，其清潔工程運行及相關維護年耗電量為51%。這就要求清潔工程行業(yè)的設計和施工企業(yè)，從客戶需求出發(fā)，從設計理念，施工，設備和運行等方面進行節(jié)能設計，只有采用全方位的節(jié)能技術，整個清潔工程行業(yè)才能持續(xù)健康發(fā)展
空氣分子污染問題作為IC廠關注的問題，20年前最早由日本人提出，近年來世界IC技術發(fā)展迅速，IC芯片日益小型化，AMC對當前IC生產(chǎn)的潛在污染比顆粒污染廣泛得多。顆粒污染控制只需要確定顆粒的大小和數(shù)量，但對于AMC控制來說，除了受芯片線寬減小的影響外，還受到工藝，工藝設備，工藝材料和傳輸系統(tǒng)的影響。 更有甚者，多種工藝材料（化學品，特殊氣體等。因此，在生產(chǎn)過程中的一些加工過程和工序的物料傳遞和儲存環(huán)境，AMC已成為嚴重影響成品率的重要問題，而分子控制技術已成為清潔工程設計和施工的主流趨勢目前，國內(nèi)清潔工程企業(yè)已經(jīng)開始從事這一方向的研究，在這一領域比較領先的企業(yè)有亞翔集成，在分子凈化技術方面，公司一直走在同行業(yè)前列，而中國電子工程設計院在微震技術方面處于領先地位
