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半導(dǎo)體潔凈車間檢測粒子濃度等級儀器

2022-03-27 02:25:48 瀏覽次數(shù):

  潔凈這個(gè)名詞和概念源于18世紀(jì)六十年代的歐洲醫(yī)學(xué),當(dāng)時(shí)的理解僅限于經(jīng)噴灑消毒后可以控制創(chuàng)部感染率的處置室、手術(shù)室這類滅菌處理的工作環(huán)境?,F(xiàn)代潔凈室雖然延用了這個(gè)名詞,但在定義和內(nèi)涵上都與原有的概念有根本的不同,現(xiàn)代潔凈室形成一項(xiàng)專門技術(shù),其歷史不過只有半個(gè)世紀(jì)。隨著科技的發(fā)展?jié)崈艏夹g(shù)(cleanroom)是適應(yīng)實(shí)驗(yàn)研究與產(chǎn)品加工的精密化、微型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性等方面要求而誕生的一門新興技術(shù)。

  潔凈室的劃分是以單位體積內(nèi)所含灰塵數(shù)來計(jì)算的,數(shù)目越小表示潔凈等級越高,一般每一級的劃分都有不同直徑灰塵數(shù)的要求,比如一般藥廠、汽車4s店,十萬級或萬級就夠了,但這對電子行業(yè)(尤其是微電子行業(yè))僅僅是最低要求,比如半導(dǎo)體行業(yè)等級要求最低的間一般都不能高于1萬級。

  潔凈車間在施工單位完成之后,甲方都行需要進(jìn)行驗(yàn)收的,驗(yàn)收的時(shí)候就涉及到這個(gè)檢測潔凈度,看潔凈度是否達(dá)到要求。今潔凈度檢測是潔凈車間性能的核心,氣流、壓力等都只能在確認(rèn)潔凈車間的潔凈度不受影響后才能正常進(jìn)行。潔凈車間潔凈度檢測使用塵埃粒子計(jì)數(shù)器,可以選用光散射粒子計(jì)數(shù)器、凝結(jié)核粒子計(jì)數(shù)器、電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡,但目前用得較多的是光散射粒子計(jì)數(shù)器。由于此種粒子計(jì)數(shù)器在運(yùn)用中可以對室內(nèi)空氣的含塵量進(jìn)行自動、連續(xù)、及時(shí)地對應(yīng)測量,并且可以直接顯現(xiàn)瞬時(shí)的含塵濃度,也可以對不一樣粒徑的含塵濃度進(jìn)行測量,運(yùn)用簡略、便利、及時(shí)、靈活。

  潔凈室等級標(biāo)準(zhǔn)和國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644一樣,都是根據(jù)懸浮粒子濃度這個(gè)唯一指標(biāo)來劃分潔凈室(區(qū))及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um 范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群。根據(jù)粒子徑,可以劃分為常規(guī)粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。塵埃粒子計(jì)數(shù)器有不同的規(guī)格,在國標(biāo)GBJ73-84中規(guī)定:對于100級的凈化車間,每次取樣量應(yīng)大于或等于1L,對于1000~10000級的凈化車間,每次取樣量應(yīng)大于或等于0.3L,對于10000級的凈化車間,每次取樣量應(yīng)大于或等于0.1L。對于100級凈化車間,宜選用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測驗(yàn)。

  CW一RPC系列遠(yuǎn)程激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器是賽納威研發(fā)的智能多點(diǎn)監(jiān)控系統(tǒng)的終端設(shè)備,可以通過RJ45接口、WiFi、485 (moudbus)等,將數(shù)據(jù)傳輸給PC終端,為用戶提供實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的車間微粒數(shù)量和凈化等級。該粒子計(jì)數(shù)器按照國際標(biāo)準(zhǔn)IS014644-1,GMP和日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(JIS)要求標(biāo)定,其計(jì)數(shù)效率和準(zhǔn)確性滿足JJF1190-2008《塵埃粒子計(jì)數(shù)器》校準(zhǔn)依據(jù),專業(yè)應(yīng)用于電子行業(yè)、制藥車間、食品、藥品車間、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密機(jī)械加工車間等潔凈環(huán)境;用戶可根據(jù)需要增加或減少控制終端,可實(shí)現(xiàn)7*24實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程自動監(jiān)測,有助于企業(yè)提升自動化、精細(xì)化管理。

  粒子計(jì)數(shù)器設(shè)備分落散布在車間各監(jiān)控點(diǎn)位,由安裝了系統(tǒng)監(jiān)控軟件的主控電腦控制各采集點(diǎn)的工作狀態(tài);監(jiān)控軟件可選擇設(shè)定粒徑、時(shí)間、采樣間隔、刷新頻率、顯示單位、采樣模式和超限報(bào)警等,并可對歷史數(shù)據(jù)按需求進(jìn)行查詢、統(tǒng)計(jì)、分析及繪制曲線圖,并可提供moudbus485通訊協(xié)議對接用戶物聯(lián)網(wǎng)平臺,供用戶自行開發(fā)和應(yīng)用。

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