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半導(dǎo)體車間測(cè)量塵埃粒子濃度等級(jí)儀器解決方案

2022-03-16 18:19:25 瀏覽次數(shù):

  塵埃粒子計(jì)數(shù)器是用于測(cè)量潔凈環(huán)境中單位空氣體積內(nèi)塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器,不過在生產(chǎn)過程中環(huán)境的情況往往是變化的,原材料的進(jìn)出、人員的更換以及產(chǎn)品的變化都將對(duì)潔凈室的潔凈程度有所影響。往往在一個(gè)班次開始時(shí)環(huán)境是滿足要求的,而在結(jié)束時(shí)發(fā)現(xiàn)粒子數(shù)超出了標(biāo)準(zhǔn)。由于人工監(jiān)測(cè)無(wú)法提供連續(xù)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù),因此無(wú)法估計(jì)系統(tǒng)是在何時(shí)偏離了規(guī)定工況,更無(wú)法估計(jì)產(chǎn)品的質(zhì)量情況。

  在線塵埃粒子計(jì)數(shù)器優(yōu)勢(shì)

  這就違背了保證潔凈室空氣質(zhì)量,進(jìn)而提高產(chǎn)品質(zhì)量的初衷。賽納威遠(yuǎn)程式粒子計(jì)數(shù)器能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)潔凈室內(nèi)懸浮顆粒的個(gè)數(shù)并及時(shí)報(bào)警,7*24小時(shí)的連續(xù)不間斷監(jiān)測(cè),最大程度保證產(chǎn)品在全流程生產(chǎn)工序中免受污染,提升產(chǎn)品質(zhì)量,被廣泛應(yīng)用在醫(yī)藥、電子、食品、航空航天、生物工程、精密加工等領(lǐng)域。

  客戶一般采用粒子計(jì)數(shù)器來針對(duì)作業(yè)環(huán)境進(jìn)行檢測(cè),在國(guó)內(nèi)相關(guān)檢測(cè)設(shè)備需要符合國(guó)家計(jì)量總局頒布的 JJF1190-2008《塵埃粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范》規(guī)程的技術(shù)要求,常見的塵埃粒子計(jì)數(shù)器是光散射式(APC)的,測(cè)量粒徑范圍0.1-10μm,此外還有凝聚核式的塵埃粒子計(jì)數(shù)器(CNC),可測(cè)量尺寸更小的塵埃粒子。本文將介紹光散射式塵埃粒子計(jì)數(shù)器。

  塵埃粒子計(jì)數(shù)器工作原理

  空氣中的微粒在光的照射下會(huì)發(fā)生散射,這種現(xiàn)象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波長(zhǎng)、微粒折射率及微粒對(duì)光的吸收特性等因素有關(guān)。但是就散射光強(qiáng)度和微粒大小而言,微粒散射光的強(qiáng)度隨微粒的表面積增加而增大。

  

  塵埃粒子計(jì)數(shù)器工作流程

  首先,真空泵系統(tǒng)使待檢測(cè)氣體按規(guī)定流量通過粒子計(jì)數(shù)器激光頭,氣體中的塵埃粒子將散射粒子計(jì)數(shù)器中的激光信號(hào),從而使其中的光學(xué)傳感器接受并產(chǎn)生脈沖信息號(hào)。 其次,脈沖信息號(hào)被輸出并放大,然后進(jìn)行數(shù)字信號(hào)處理,通過與標(biāo)準(zhǔn)粒子信號(hào)進(jìn)行比較,將對(duì)比結(jié)果用不同的參數(shù)表示出來。電脈沖數(shù)量對(duì)應(yīng)于微粒的個(gè)數(shù),電脈沖的幅度對(duì)應(yīng)于微粒的大小。

  塵埃粒子計(jì)數(shù)器注意事項(xiàng)

  1、當(dāng)進(jìn)口管被蓋住或被堵塞,不要啟動(dòng)計(jì)數(shù)儀。

  2、粒子計(jì)數(shù)器應(yīng)該在潔凈環(huán)境下使用,以防止對(duì)激光傳感器的損傷。

  3、不要測(cè)有可能產(chǎn)生反應(yīng)的混合氣體(如氫氣和氧氣)。這此氣體也可能在計(jì)數(shù)器內(nèi)產(chǎn)生爆炸。測(cè)這些氣體需與廠家聯(lián)系為取得更多的信息。

  4、沒有高壓減壓設(shè)備(如高壓擴(kuò)散器)不要取樣壓縮空氣,所有的顆粒計(jì)數(shù)儀被設(shè)計(jì)用于在一個(gè)大氣壓下操作。

  5、水,溶液或其它液體都不能從入口管進(jìn)入傳感器。

  6、顆粒計(jì)數(shù)儀主要用來凈化車間干凈的環(huán)境, 儀器檢測(cè)檢定當(dāng)測(cè)的地方有松散顆粒的材質(zhì),灰塵源,噴霧處時(shí),須保持距進(jìn)口管至少十二英寸遠(yuǎn)。以免以上的顆粒及液體污染傳感器及管路。

  7、取樣時(shí),僻免取樣從計(jì)數(shù)器本身排出來的或被計(jì)數(shù)器出來的氣體所污染的氣體。

  8、在連接外置打印機(jī)或連接外接溫濕度傳感器時(shí),需先關(guān)掉計(jì)數(shù)器;當(dāng)執(zhí)行打印操作時(shí),打印機(jī)上須有打印紙, 長(zhǎng)度計(jì)量校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室否則會(huì)損傷打印頭。

  潔凈室(區(qū))空氣潔凈度級(jí)別表:(ISO14644-1部分內(nèi)容)

  

  

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