靜電是無塵車間中最難控制的。靜電會增加半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的廢品,降低電子設(shè)備的可靠性。因此,在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過程中,所有制造階段都需要防止靜電對器件的作用。
1.選擇適當(dāng)?shù)牟牧希?/div>
無塵車間裝修應(yīng)采用不易產(chǎn)生靜電或靜電產(chǎn)生后容易漏出的材料。當(dāng)各種材料一起使用時,應(yīng)選擇接近電氣順序表位置的材料。所有材料都可以歸為導(dǎo)體或電氣色邊體。導(dǎo)體是電流可以通過的材料,絕緣體是電流不能通過的材料。
2.停業(yè):
接地是帶電導(dǎo)體消除靜電最普遍、最經(jīng)濟(jì)、最簡單、最可靠的方法。
(1)對無塵車間可能引起靜電危害的設(shè)備、液體、氣體或粉末管,應(yīng)采取防靜電接地措施。
(2)電子工業(yè)潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)(天花板、地面、墻、柱)應(yīng)采用防靜電裝飾,以抑制粉塵的帶電吸附。
(3)工藝設(shè)備接地。
(4)辦公設(shè)備應(yīng)由抗靜電材料和地面制成。
(5)工作人員應(yīng)穿著無塵抗靜電服裝、鞋、帽子、手套、腕帶等。
3.中和:
帶電體周圍的空氣(靜電)電離后,帶電離子在電磁場的作用下遷移,荷電體吸引異性電荷中和和消除靜電。靜電抵消器是一種能產(chǎn)生電子和離子的裝置,能在荷電體上產(chǎn)生電子、離子和異性電荷,從而消除靜電、絕緣材料表面的靜電和空氣中的靜電中和。
4.濕度控制:
在眾多消除靜電的方法中,室內(nèi)濕度控制也被考慮用來降低和消除無塵車間的靜電。通過保持環(huán)境較高的相對濕度,在該區(qū)域的物體表面會形成一層薄薄的濕氣層。摩擦也會降低發(fā)電量,一般來說濕度越低,產(chǎn)生的電荷就越多,但數(shù)據(jù)顯示,即使在濕度較高的時候,也會有顯著的靜電電壓,但在高濕環(huán)境下,制造商可能會感到很不舒服,零件可能會生銹,造成可焊性問題這個薄層將被用來提供一個導(dǎo)電通道,這樣可能產(chǎn)生的電荷就可以流過濕氣層來耗散靜電荷。此外,薄的濕氣層可以增加物體表面的潤滑性。同樣,試圖通過濕度控制來消除靜電顯然也是昂貴的。