大多數(shù)清潔工廠,特別是在電子工業(yè)中使用的,不僅對(duì)工廠的溫濕度有嚴(yán)格的要求,而且對(duì)溫度和相對(duì)濕度的波動(dòng)范圍也有嚴(yán)格的要求。
針對(duì)凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問(wèn)題,常用的加濕方法有浸出水、濕膜、高壓噴霧超聲等,這些加濕方法屬于等焓加濕過(guò)程,噴霧蒸汽、干燥蒸汽和電極(電熱)加濕是將蒸汽噴射到空調(diào)供氣中,加濕方法屬于等溫加濕過(guò)程。
從保證潔凈室相對(duì)濕度精度的角度來(lái)看,上述水加濕方法,如浸出水、高壓噴霧、濕膜等的控制精度不高,所以當(dāng)潔凈室相對(duì)濕度小于±10%時(shí),最好不要使用。采用噴霧干燥蒸汽和電加熱(電極)加濕的方法。噴霧干蒸汽的加濕方法應(yīng)注意干蒸汽加濕器具有蒸汽效率的問(wèn)題。并非所有噴入空調(diào)箱的蒸汽都加入到空調(diào)空氣供應(yīng)中,有些蒸汽被排放到凝結(jié)水中。因此,在選擇干蒸汽加濕的加濕量時(shí),應(yīng)考慮蒸汽噴霧的效率。一些制造商的蒸汽效率為70%。
各種加濕器的應(yīng)用范圍各不相同,如加濕器、濕膜、高壓噴霧等水加濕器,其特點(diǎn)是加濕量大,投資低,相對(duì)濕度控制精度差,主要應(yīng)用于加濕量大(>;±10%)和普通舒適空調(diào)房加濕,而干式蒸汽加濕,相對(duì)濕度控制精度高,電極(電熱)加濕,主要用于恒溫恒溫恒濕度潔凈室的加濕,由于投資高,相對(duì)濕度精度嚴(yán)格。
對(duì)于以微生物為控制對(duì)象的生物潔凈室(如生物制藥、潔凈手術(shù)室、無(wú)菌室、生物安全實(shí)驗(yàn)室、實(shí)驗(yàn)無(wú)菌動(dòng)物飼養(yǎng)室等),控制微生物的產(chǎn)生和傳播十分重要,因?yàn)闈穸群退质俏⑸锓敝澈头敝车臈l件,水的加濕方法,如水浸出、濕膜、高壓噴霧等,不能應(yīng)用于生物潔凈室。只有干蒸汽加濕和電極(電熱)加濕才能使用。
另一個(gè)值得注意的問(wèn)題是,近年來(lái)我國(guó)南方地區(qū),如華東地區(qū)的佛山,廣州,上海,蘇州等地冬季室外空氣相對(duì)濕度相對(duì)較大,《規(guī)范》室外空調(diào)計(jì)算相對(duì)濕度偏低,如佛山潔凈室,廣州,上海,蘇州室外計(jì)算相對(duì)濕度為70%,上海,蘇州為75%,但這些年實(shí)測(cè)室外相對(duì)濕度僅為30%左右。"因此,所建潔凈室加濕不足,室內(nèi)相對(duì)濕度低,達(dá)不到設(shè)計(jì)要求。 有些廠家為了簡(jiǎn)化省錢,在原有空調(diào)中加入濕膜或噴霧加濕,增加加濕量。但事與愿違,不僅加不了水分的量,還很快飽和成凝結(jié)水沉淀,并沒(méi)有達(dá)到加濕的目的。 由于濕膜和高壓噴霧屬于等焓加濕過(guò)程,必須將加濕前的空調(diào)空氣加熱到一定溫度后,加濕才能達(dá)到加濕的目的。
他說(shuō):"加濕時(shí)應(yīng)注意的另一個(gè)問(wèn)題,是冷氣機(jī)內(nèi)空氣與水的流動(dòng)問(wèn)題。在一些工程中,由于水的加濕問(wèn)題沒(méi)有得到很好的處理,致使二次濾池,甚至是高效過(guò)濾器都被水淋濕了。對(duì)于干蒸汽加濕器,還應(yīng)注意蒸汽管和冷凝管的坡度和方向,以便凝結(jié)水迅速排出空調(diào)外面。如果加濕器位于空調(diào)器的風(fēng)扇部分,也應(yīng)采取措施避免電機(jī)上出現(xiàn)冷凝液滴,導(dǎo)致電動(dòng)機(jī)短路和斷電。
光學(xué)微電子凈化工程-清潔車間的技術(shù)解決方案
光電凈化工程是指在一定的空間范圍內(nèi)清除空氣中的粉塵顆粒、有害空氣、細(xì)菌等污染物,并將室內(nèi)溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲、振動(dòng)和照明、靜電控制在一定的要求范圍內(nèi),并給出了專門設(shè)計(jì)的密閉空間。
光學(xué)微電子凈化工程,又稱無(wú)塵室或潔凈室,已成為半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、電路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近年來(lái),由于技術(shù)的革新和發(fā)展,對(duì)產(chǎn)品的高精度和小型化的要求越來(lái)越迫切。例如,超大規(guī)模集成電路的研制已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展中十分重視的一項(xiàng)工程,我公司的設(shè)計(jì)理念和施工技術(shù)在行業(yè)中處于領(lǐng)先地位。