無塵車間風速和風量的檢測

單向流的風速基本穩(wěn)定，氣流方向基本一致。入口附近的風速與工作面相差不大，整個潔凈室的風速也不是很好，風速的均勻性通常可以忽略不計。凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題，潔凈室常用的加濕方法有多種，如淋水，濕膜，高壓噴霧超聲波等。 這些加濕方法屬于等焓加濕過程。噴蒸汽，干蒸汽，電極（電熱）加濕是將蒸汽噴入空調(diào)送風中，加濕方式屬于等溫加濕的過程。 無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理應采用初效，中效，高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可用次高效空氣濾清器代替高效空氣濾清器。 凈化工程是指控制產(chǎn)品（如硅片）與大氣接觸的潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造。

非單向流動各部分的風速和方向是不同的。整個無塵車間的風速均勻性差，需要考慮風速的均勻性。有時各部分的風速需要單獨測量。在測量風速時，必須事先判斷風向，因為通用風速計的探頭具有方向性，因此在測量風速時必須識別風向。

由于空氣中的氣流是發(fā)散的，通常需要加蓋以確定進氣口的風速。

用熱球風速計和熱球風速計測量風速的常用方法。熱球風速表的靈敏度一般較高，但穩(wěn)定性較差。因此，由熱球風速計測量的風速應注意藥房：檢查風速表的外觀和工作狀態(tài)是否正常；在測量風速前糾正風速表的零點位置；測頭在校正零位置時應處于無風狀態(tài)；風速計探頭的迎風面在測量風速時應垂直于風向；等待顯示器穩(wěn)定并重新讀?。伙L速計探頭應小心防止與其他物體接觸。

使用轉子風速計測量風速。轉子風速表轉子存在一定的摩擦，早期轉子風速計的靈敏度較低，人們不喜歡。隨著技術的發(fā)展，旋轉風速計的靈敏度越來越高，越來越多的人使用旋轉風速計。若要使用轉子風速計確定風速，請注意以下幾點：檢查轉速表的外觀和工作狀態(tài)；檢查軸的摩擦力是否正常；在測量風速時識別氣流方向；轉子的旋轉平面應垂直于風向；每個人都在呼吸道；在閱讀前等待穩(wěn)定。

風速采用皮管結合微泡儀測量，靜壓和總壓采用標準皮管結合微壓計測量，動壓由靜壓和總壓計算，風速由動壓計算。一般來說，用標準皮管測風速比較靠譜。 采用標準皮管結合微泡儀測量風洞中的標準風速。 但該方法操作繁瑣，微壓計的測量精度和靈敏度較高。用皮管測量風速時，應注意以下事項:檢查標準皮管進氣是否損壞； 檢查標準皮管是否堵塞； 檢查與皮管連接的管道是否通暢； 檢查顯示是否顯示微型壓力表正常，標準皮管放置方向是否準確