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怎樣解決凈化車間內(nèi)部的靜電問題?

2020-07-23 10:41:28 瀏覽次數(shù):
靜電是凈化車間最難控制的因素之一。靜電會增加半導體器件生產(chǎn)中的廢品,降低電子設(shè)備的可靠性。因此,在半導體器件的生產(chǎn)過程中,各個制造階段都需要防止靜電對器件的作用。
消除靜電的方法有很多種。在凈化車間工程中,根據(jù)防靜電環(huán)境的要求,經(jīng)常采用以下方法:
1.選擇適當?shù)牟牧希?/div>
凈化車間的裝飾應(yīng)采用不易產(chǎn)生靜電或產(chǎn)生靜電后容易漏出的材料。當各種材料一起使用時,應(yīng)選擇接近電氣順序表中位置的材料。所有材料都可以歸為導體或絕緣體。導體是電流可以通過的材料,絕緣體是電流不能通過的材料。
 
2.接地:
 
接地是帶電導體消除靜電的一種普遍、經(jīng)濟、簡單、可靠的方法。
 
(1)對凈化車間可能引起靜電危害的設(shè)備、流動液體、氣體或粉末管,應(yīng)采取防靜電接地措施。
 
(2)電子工業(yè)潔凈室的圍護結(jié)構(gòu)(天花板、地面、墻、柱)應(yīng)采用防靜電裝飾,以抑制粉塵的帶電吸附。
 
(3)工藝設(shè)備接地。
 
(4)辦公設(shè)備應(yīng)由抗靜電材料和地面制成。
 
(5)工作人員應(yīng)穿著無塵抗靜電服裝、鞋、帽子、手套、腕帶等。
 
3,靜電中和:
 
帶電體周圍的空氣(靜電)電離后,帶電離子在電磁場作用下遷移,帶電體吸引異性電荷來中和和消除靜電。靜電抵消器是一種能產(chǎn)生電子和離子的裝置,它在帶電體上產(chǎn)生電子、離子和異性電荷,從而消除靜電。絕緣材料表面的靜電電荷和空氣中的靜電電荷必須通過靜電中和來消除。
 
4.濕度控制:
 
通過保持環(huán)境中的高相對濕度,薄的濕氣層將在該區(qū)域中的物體表面上形成,該濕氣層將用于提供導電通道,可能產(chǎn)生的電荷通過該導電通道流過濕氣層以耗散靜電荷在眾多消除靜電的方法中,室內(nèi)濕度控制也被考慮用來減少和消除凈化車間的靜電。此外,濕氣層薄可以增加物體表面的潤滑性,摩擦發(fā)電也會減少。一般來說,濕度越低,產(chǎn)生的電荷越多。 但數(shù)據(jù)顯示,即使在濕度較高的情況下,也會有顯著的靜電電壓,但在高濕環(huán)境下,制造商可能會感到非常不舒服,零件可能會生銹,并造成可焊性問題。
 
 
 
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