無論外界空氣條件如何變化，潔凈室都能保持原有的潔凈度、溫度、濕度和壓力性能。

 

無塵室的主要功能是控制接觸產(chǎn)品（如硅片）的空氣的清潔度、溫度和濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間內(nèi)生產(chǎn)和制造。這個空間叫做無塵室。根據(jù)公約，無塵凈化的水平主要取決于每立方米空氣中直徑大于劃分標準的顆粒數(shù)。也就是說，所謂無塵，不是說沒有灰塵，而是控制在一個很小的單元里。當然，與我們常見的粉塵相比，本標準中符合粉塵標準的顆粒是非常小的，但是對于光學結(jié)構(gòu)來說，即使是一點點粉塵也會產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)中，無塵化是必然的要求。

 

如表所示，將粒徑大于0.5μm的微塵量控制在3500/m3以下即可達到無塵標準。在芯片級生產(chǎn)加工中應用的無塵標準需要粉塵。如此高的標準主要用于一些高檔芯片的生產(chǎn)。粉塵量嚴格控制在每立方米1000度以內(nèi)，這在業(yè)內(nèi)俗稱1K級。