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半導(dǎo)體車(chē)間的無(wú)塵環(huán)境是如何設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)的

2022-03-07 07:08:14 瀏覽次數(shù):

  很多食品醫(yī)藥,電子,精密儀器,食品等行業(yè)對(duì)車(chē)間的生產(chǎn)環(huán)境要求很高,要求是無(wú)塵車(chē)間。它是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒、有毒有害空氣、細(xì)菌源等等的污染物排除出去,并將無(wú)塵室內(nèi)的溫度、潔凈度、氣流速度與氣流分布、室內(nèi)壓力、噪音振動(dòng)及照明、靜電等控制在某一個(gè)需求的范圍以?xún)?nèi),而所設(shè)計(jì)出來(lái)具有特別意義的房間或環(huán)境室。另外,無(wú)論是車(chē)間外空氣條件怎樣發(fā)生不同變化,室內(nèi)也能夠具有維持原先所設(shè)定要求的溫濕度、潔凈度及壓力等性能的特性。

  空氣潔凈度是指潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度,通??諝庵泻瑝m濃度高則空氣潔凈度低,含塵濃度低則空氣潔凈度高。就是以每立方米空氣中的最大允許粒子數(shù)來(lái)確定其空氣潔凈度等級(jí),十萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間就是是指空氣潔凈度為十萬(wàn)級(jí)的潔凈車(chē)間。

  無(wú)塵車(chē)間主要作用是在于控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品在一個(gè)良好的環(huán)境空間中進(jìn)行生產(chǎn)和制造,那么這個(gè)空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵車(chē)間工程室。另外十萬(wàn)級(jí)潔凈車(chē)間就是車(chē)間每立方米空氣中直徑≥0.5μm粒子數(shù)不大于352萬(wàn)個(gè),空氣中粒子數(shù)越少,就意味著灰塵和微生物數(shù)量越少,空氣越潔凈。十萬(wàn)級(jí)潔凈車(chē)間還要求車(chē)間每小時(shí)換氣需達(dá)到15-19次,完全換氣后空氣凈化時(shí)間不超過(guò)40分鐘。有無(wú)菌要求但不能夠?qū)嵭凶罱K滅菌的工藝和雖能實(shí)現(xiàn)最終滅菌,但滅菌后無(wú)菌操作的工藝,應(yīng)在潔凈生產(chǎn)區(qū)內(nèi)進(jìn)行。

  無(wú)塵車(chē)間可除去車(chē)間內(nèi)的污染物及氣體,使車(chē)間得到潔凈無(wú)污染。但單靠無(wú)塵車(chē)間是無(wú)法使車(chē)間得到潔凈,因?yàn)?,無(wú)塵車(chē)間內(nèi)是考慮無(wú)塵與外界隔開(kāi),但是自然的空氣進(jìn)不來(lái)。然而,無(wú)塵車(chē)間的潔凈度往往受氣流的影響。無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的人和機(jī)械設(shè)備都會(huì)產(chǎn)生塵埃,需要安裝凈化設(shè)備將車(chē)間內(nèi)的塵埃迅速排出,保持氣流的均勻,達(dá)到工藝要求的潔凈度。

  CW一RPC系列遠(yuǎn)程激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器是賽納威研發(fā)的智能多點(diǎn)監(jiān)控系統(tǒng)的終端設(shè)備,可以通過(guò)RJ45接口、WiFi、485 (moudbus)等,將數(shù)據(jù)傳輸給PC終端,為用戶(hù)提供實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的車(chē)間微粒數(shù)量和凈化等級(jí)。該粒子計(jì)數(shù)器按照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)IS014644-1,GMP和日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(JIS)要求標(biāo)定,其計(jì)數(shù)效率和準(zhǔn)確性滿(mǎn)足JJF1190-2008《塵埃粒子計(jì)數(shù)器》校準(zhǔn)依據(jù),專(zhuān)業(yè)應(yīng)用于電子行業(yè)、制藥車(chē)間、食品、藥品車(chē)間、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密機(jī)械加工車(chē)間等潔凈環(huán)境;用戶(hù)可根據(jù)需要增加或減少控制終端,可實(shí)現(xiàn)7*24實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程自動(dòng)監(jiān)測(cè),有助于企業(yè)提升自動(dòng)化、精細(xì)化管理。

  

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