工業(yè)生產(chǎn)的自然環(huán)境濕度是影響空氣環(huán)境質(zhì)量的重要因素。很多工業(yè)產(chǎn)品必須在規(guī)定濕度下才能生產(chǎn)出來(lái)。無(wú)塵車間的溫濕度既要滿足工藝生產(chǎn)要求，又要滿足人的舒適度，溫濕度等級(jí)根據(jù)潔凈度的要求進(jìn)行調(diào)整。工業(yè)園區(qū)電子廠房?jī)艋こ讨械臒o(wú)塵車間是如何進(jìn)行調(diào)控的？

就蘇州工業(yè)園區(qū)電子廠房?jī)艋こ潭裕诖笠?guī)模集成電路進(jìn)行生產(chǎn)光刻曝光過(guò)程中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。　濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

工業(yè)園區(qū)電子廠房?jī)艋こ讨械臒o(wú)塵車間是如何進(jìn)行調(diào)控的？無(wú)塵車間都要通過(guò)保持室內(nèi)靜壓高于非潔凈區(qū)的靜壓，來(lái)防止污染，內(nèi)外壓力差需要保持：潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力；相通潔凈室之間的門要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間；潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。