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許多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕過程，都會(huì)隨著相對(duì)濕度的增加而加快。所有暴露在潔凈室和潔凈室周圍的空氣中的表面都會(huì)很快地被至少一層水覆蓋。當(dāng)這些表面由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度可以加速反應(yīng)。幸運(yùn)的是，鋁等金屬可以通過水形成層氧化物來保護(hù)，防止氧化反應(yīng)的逐步發(fā)生；但在其他情況下，例如氧化銅，它們并不是保護(hù)性的，因此，銅表面在高濕度環(huán)境下更容易受到腐蝕。

 

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