1、 對(duì)凈化車間工程現(xiàn)有的工作規(guī)范和監(jiān)理規(guī)范進(jìn)行了白手起家的鑒定。
凈化工程主要是流量和通風(fēng)。重要的問題是終端高效過濾器要求在沒有技術(shù)支持的情況下以90英尺/分鐘的速度運(yùn)行或檢查,甚至是有害的。室內(nèi)均勻流帶過高,不利于形成阻擋流和渦流。因此,半導(dǎo)體運(yùn)行中的iso1或2級(jí)凈化室基本上采用75fpm的流速,凈化室和過濾器的流速保持在90fpm,事實(shí)上,低濾速過濾器的性能優(yōu)于高濾速過濾器。過濾器的表面速度與凈化室的功能無(wú)關(guān)。實(shí)際上,室內(nèi)顆粒物濃度和空氣輸送的生物負(fù)荷水平在運(yùn)行期間保持不變。
另外,設(shè)計(jì)一個(gè)能夠達(dá)到適當(dāng)?shù)牧髁亢屯L(fēng)量的系統(tǒng)是非常重要的。一開始,濾波器相對(duì)較高的成本與長(zhǎng)期電力運(yùn)行成本同等重要。許多凈化室不考慮需要更多的功率和額外產(chǎn)品的生產(chǎn)成本,而只考慮增加過濾器數(shù)量的效果。2小型化的趨勢(shì)。
隨著納米技術(shù)進(jìn)入生產(chǎn)時(shí)代,生產(chǎn)空間和生產(chǎn)設(shè)備規(guī)格越小,連續(xù)清洗的空間越小。可以使用各種方法來(lái)增加靈活性和節(jié)省成本。
一方面,許多公司希望得到更多有用的凈化室,另一方面,他們尋找降低能耗、正確規(guī)劃空氣活動(dòng)、減少潔凈區(qū)所需清潔空氣總量的方法,是降低初始成本和運(yùn)行成本的有效方法。隨著HEPA和ULPA的過濾能力,用戶對(duì)過濾能力的需求降低?,F(xiàn)在用戶注重分析凈化室的差異,除此之外,設(shè)備和過濾器制造商大力開發(fā)功能強(qiáng)大、節(jié)能、小容積的鼓風(fēng)機(jī)。通過過濾器的氣流進(jìn)入房間時(shí)會(huì)造成壓力下降,需要通過風(fēng)機(jī)和空調(diào)設(shè)備來(lái)恢復(fù),只有稍微降低壓力,才能減少一部分電費(fèi),特別是風(fēng)機(jī)的電費(fèi)
在選擇過濾器時(shí),過濾器應(yīng)優(yōu)先滿足過濾功率和壓降的最小要求。在測(cè)量過濾器的報(bào)價(jià)和功能時(shí),功率和壓降是關(guān)鍵因素。HEPA和ULPA過濾器的總收集功率根據(jù)其他因素進(jìn)行選擇,包括空氣過濾、速度、顆粒大小和過濾介質(zhì)的特性,一般來(lái)說,是過濾速度的降低和粒度規(guī)格的增加