每立方米不超過(guò)0.5微米的粉塵量將控制在3500以下，達(dá)到國(guó)際A級(jí)無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)。目前，芯片級(jí)生產(chǎn)和加工中使用的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)高于A類(lèi)，這樣的高標(biāo)準(zhǔn)主要用于一些高檔芯片生產(chǎn)，粉塵量嚴(yán)格控制在每立方米1000米以內(nèi)，這在業(yè)界通常稱(chēng)為1000級(jí)。

 

1000級(jí)無(wú)塵車(chē)間的標(biāo)準(zhǔn)，細(xì)塵的數(shù)量嚴(yán)格控制在每立方米1000粒以內(nèi)，這是工業(yè)1000級(jí)無(wú)塵車(chē)間的含義。(1000級(jí)是指每立方英尺內(nèi)不超過(guò)1000粒大于或等于0.5)。

 

無(wú)塵車(chē)間等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)分級(jí)清潔度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644根據(jù)懸浮顆粒濃度指數(shù)劃分潔凈室(區(qū))及相關(guān)的受控環(huán)境空氣潔凈度等級(jí)，只考慮0.1μm~0.5μm范圍內(nèi)的粒度限制(下限)，按粒度可分為常規(guī)顆粒(0.1μm~0.5μm)、超細(xì)顆粒(<；)、0.1μm和宏觀顆粒(>；)和5.0μm。