電子無(wú)塵車間具有噪音、車間內(nèi)外壓差、車間風(fēng)量全布、車間溫濕度、潔凈度、冷卻負(fù)荷、新風(fēng)系統(tǒng)、抗靜電、新風(fēng)等標(biāo)準(zhǔn)要求。
1.車間的噪音要求
噪音會(huì)影響操作者的工作效率和狀態(tài)，所以首先也是一個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)。一般來(lái)說(shuō)，在靜態(tài)空間條件下，車間的噪音標(biāo)準(zhǔn)要求在60分貝以下。
2.對(duì)車間內(nèi)外壓差的要求
對(duì)于無(wú)塵車間，為了達(dá)到除塵的目的，必須有穩(wěn)定的氣體流量，所以必須有壓差。
車間室內(nèi)外壓差不得小于10 Pa，車間內(nèi)部清潔區(qū)域和不潔凈區(qū)域的壓差不應(yīng)小于5 Pa。
3.在車間內(nèi)填充氣流的要求。
在電子無(wú)塵車間的要求中，氣流的充分分布要求不容忽視。這代表了流動(dòng)氣體的比例是否足以覆蓋車間內(nèi)部空間，以及車間空間的基本覆蓋能否實(shí)現(xiàn)。
單向流的全分布率大于40%，垂直流量大于60%。
4.車間的溫濕度要求
車間必須配備空調(diào)凈化系統(tǒng)，以保證溫濕度，同時(shí)還要增加新風(fēng)系統(tǒng)和超溫保護(hù)系統(tǒng)，以及防低溫系統(tǒng)等設(shè)施。
5.對(duì)清潔的要求
由于生產(chǎn)工藝的多樣性，對(duì)清潔度等級(jí)的要求也不同，高的要求很高，低的要求很低。
粒度控制要求也不同，范圍約為0.1×5μm，溫濕度控制要求較高，例如集成電路前端工藝對(duì)室內(nèi)溫度基準(zhǔn)的一般要求為22℃(精度±0.1~±1℃)。
相對(duì)濕度為40%(精密度±2~±5℃)，正壓要求的梯度水平隨潔凈度的變化而由高到低，差異為5~10 pa。
6.冷卻負(fù)荷要求
電子工業(yè)無(wú)塵車間的冷卻負(fù)荷比其他行業(yè)的無(wú)塵車間大得多，單位冷卻負(fù)荷達(dá)到400~500 W/單位是很常見的。由于冷卻負(fù)荷大，冬季也需要供應(yīng)冷卻，這是電子工業(yè)的特點(diǎn)。
7.對(duì)新鮮空氣系統(tǒng)的要求
電子工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的有害氣體種類繁多，有害氣體的數(shù)量也很大，因此排氣量和新風(fēng)量也很大，新排風(fēng)的節(jié)能措施也是該行業(yè)的特點(diǎn)之一，排放前應(yīng)加以處理，以滿足排放負(fù)荷的環(huán)保要求。
8.抗靜電要求
電子工業(yè)的生產(chǎn)過(guò)程有抗靜電和微振動(dòng)的要求，有多種散裝氣體和特殊氣體，要求高純度和清潔度：
9.對(duì)新鮮空氣的要求
補(bǔ)償室內(nèi)排氣量和保持房間正壓值所需的新風(fēng)量之和。潔凈室每人每小時(shí)的新風(fēng)量不少于40立方米。
