所謂凈化工程，就是控制產品(如硅片等)接觸到的空氣的清潔度和溫濕度，使產品能在良好的環(huán)境空間中生產和制造。這個空間的設計和建造過程可以稱為凈化工程。凈化工程可分為隨機流(TurbulentFlow)和層流(層流)。

 

1.隨機流動

 

空氣從空調箱通過空調箱和潔凈室空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由兩側的潔凈室隔墻或高架地板返回空氣。"氣流不是線性運動的，處于不規(guī)則的湍流或渦流狀態(tài)。適用于1000~100000級潔凈室.優(yōu)點：結構簡單，系統建設成本低，擴大潔凈室相對容易，在一些特殊用途場所，可采用無塵工作臺來提高潔凈室的檔次。缺點：湍流引起的細小粉塵不易在室內飄浮，容易污染加工產品。此外，如果系統停止運行并重新啟動，通常需要很長時間才能實現需求的清潔。

 

2.層流

 

層流氣流運動成一條均勻的直線，空氣通過100%的過濾器進入房間，并通過高架地板或兩側隔板返回到空氣中。這種類型適合在較高環(huán)境中使用的潔凈室等級，其潔凈室等級一般為1~100級?？煞譃閮煞N類型：

 

主要研究結果如下：(1)水平層流：水平氣流從過濾器向一個方向吹出，從對面壁面的回風系統返回空氣，粉塵沿風向在室外排放，下流側的污染一般更為嚴重。Www.jnjk.com層流罩

 

優(yōu)點：結構簡單，運行后可在短時間內穩(wěn)定。缺點：施工成本高于隨機流，室內空間不易擴大。

 

(2)垂直層流：房間的天花板完全覆蓋超低功率濾清器，空氣從上至下吹氣，可獲得較高的清潔度。過程中產生的灰塵或工作人員可在室外迅速排出，而不影響其他工作區(qū)域。

 

優(yōu)點：易于管理，能在運行開始后的短時間內達到穩(wěn)定狀態(tài)，不容易受到操作狀態(tài)或操作人員的影響。隨機流缺點：施工成本高，彈性使用空間大，吊架占用空間大，維修更換濾清器比較麻煩。復合式(MixedType)：復合式是將隨機流和層流相結合，可以提供局部的超潔凈空氣。