無塵車間為什么要控制溫濕度？主要作用是什么？具體措施是什么？

無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定的，為了滿足加工工藝的條件，我們應(yīng)該考慮人的舒適度。隨著空氣潔凈度要求的提高，對溫濕度的技術(shù)要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度水平。

無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)你的加工工藝要求來確定的，為了滿足加工工藝的條件，要考慮人的舒適度。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求越來越高，必須達到一定的溫濕度。例如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光過程中，作為掩模材料的玻璃與硅片之間的熱膨脹系數(shù)差異越來越小。直徑100um的硅片，當溫度升高1度時，引起0。24um線性膨脹，所以它必須有±0.1度的恒溫，濕度值一般較低，因為出汗后會對產(chǎn)品有污染，特別是半導(dǎo)體車間，怕鈉，不能超過25度。過高的濕度會引起更多的問題。

 

然而，對于大多數(shù)清潔空間，為了防止外部污染的入侵，必須保持內(nèi)部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。維持壓差一般應(yīng)符合以下原則：

 

1.高潔凈度空間的壓力高于低潔凈度空間的壓力。

 

2.潔凈室之間的門應(yīng)向高度清潔的房間開放。

 

3.清潔空間的壓力高于不清潔空間的壓力。

 

壓差的維持取決于新風量，在這種壓差下，新風量應(yīng)能補償間隙泄漏的氣流。因此，壓差的物理含義是空氣透過潔凈室各種間隙的阻力。

 

對于湍流潔凈室，由于它主要依靠稀釋空氣來降低室內(nèi)污染程度，所以它主要采用通風時間的概念，而不是直接使用速度的概念，而且對室內(nèi)氣流速度也有以下要求：

 

1.風口氣流速度不宜過大，與簡易空調(diào)房相比，速度衰減快，擴散角大。

 

2.通過水平平面的氣流速度(如側(cè)送時的回流速度)不應(yīng)過大，以免將表面顆粒吹回氣流中，造成再污染，一般不適于干燥0.2米/秒。

 

在我國，"空氣凈化技術(shù)措施"和"潔凈車間設(shè)計規(guī)范"都是這樣規(guī)定的。

 

垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s

 

水平平行流(層流)潔凈室≥0.35m/s