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無塵凈化車間中的溫濕度控制要求

2020-09-10 10:29:04 瀏覽次數(shù):
無塵凈化車間主要根據(jù)產(chǎn)品需求的生產(chǎn)過程來確定,在滿足產(chǎn)品工藝要求時應(yīng)考慮員工的舒適度。隨著無塵凈化車間空氣清潔度等級的提高,各種工藝對溫濕度的要求越來越嚴格。
 
一般來說,產(chǎn)品的加工精度越高,對溫濕度波動的要求就越高,溫濕度波動的范圍就越小。例如,在一些大型集成電路的光刻曝光過程中,直接使用的材料只有 100 微米。如果環(huán)境溫度與要求直接相差一度,就會引起幾微米材料的偏差。在這種高精度的無塵凈化車間中,是一次非常嚴重的生產(chǎn)事故。因此,這個過程甚至需要保持零下 0.5 攝氏度的溫差。
 
此外,一些高精度產(chǎn)品對濕度的要求也很嚴格。在一些電子元件的生產(chǎn)中,空氣濕度將直接影響芯片的質(zhì)量。在大多數(shù)硅產(chǎn)品中,無塵凈化車間的濕度范圍嚴格規(guī)定在 30-45% 之間。
 
 
 

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