進入現(xiàn)場前，制造商應(yīng)按照規(guī)定(DOP試驗、NaCl試驗、噴油試驗等試驗方法)進行性能試驗，并提供合格證書(包括性能試驗結(jié)果)。

 

對于5級以上(100級)以上無塵房間的高效過濾器和超高效率過濾器，應(yīng)在現(xiàn)場再次進行高效過濾體的泄漏試驗及其正確的安裝狀態(tài)。該方法還可用于6級及以下生物潔凈室的滲漏檢測。在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超潔凈技術(shù)(0.1μm，1級)中，由于新鮮風(fēng)量往往僅為循環(huán)風(fēng)量的幾%，且上層空氣被稀釋為6級(1000級)，因此有必要重新考慮在這種情況下使用DOP檢漏試驗的問題。

 

1.測試要求

 

一般采用粒子計數(shù)法檢測泄漏，檢測到的高效過濾器必須檢測到風(fēng)量并運行在設(shè)計風(fēng)速的80%至120%之間，許多設(shè)計風(fēng)量小于過濾器額定風(fēng)量的80%，因為過濾器的漏風(fēng)比在低風(fēng)速下會增大，數(shù)據(jù)是安全的，有時也不需要增加風(fēng)量。

 

檢測到的高效過濾器空氣側(cè)顆粒濃度滿足以下要求。

 

控制粒徑≥0.5μm的濃度，必須大于或等于3.5x104pc/L

 

對于控制粒徑≤0.5μm的濃度，必須大于或等于3.5x106~107 pc/L。

 

2.檢測方法

 

采用掃描法對高效過濾器的安裝縫和主斷面進行檢測，檢測點距被測表面20×30 mm，探頭以5~20 mm/s的速度移動，對被測過濾器的全斷面、密封頭和安裝框架進行掃描，顆粒計數(shù)器的最小采樣量大于1L/min。

 

3.評價標準：

 

當被測過濾器空氣側(cè)的泄漏濃度轉(zhuǎn)化為穿透率時，高效過濾器不應(yīng)超過工廠合格穿透率的兩倍，D級超高效過濾器不應(yīng)是工廠合格穿透率的3倍。