1。潔凈度等級要求高，根據(jù)需要控制風(fēng)量、溫度、濕度、壓差和設(shè)備排風(fēng)，并根據(jù)設(shè)計(jì)或規(guī)范控制潔凈室的照度和橫截面風(fēng)速。此外，這種潔凈室對靜電有非常嚴(yán)格的要求。"其中，對濕度的要求特別嚴(yán)重。"因?yàn)樘稍锏墓S很容易產(chǎn)生靜電，導(dǎo)致CMOS集成損壞。一般來說，電子車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度應(yīng)控制在50%至60%之間(專用無塵車間有相關(guān)的溫濕度規(guī)定)。"在這個(gè)時(shí)候，它可以有效地消除靜電，使人們感到舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵車間和磁盤制造車間是電子制造業(yè)潔凈室的重要組成部分。由于在制造和生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和電子產(chǎn)品質(zhì)量的要求是非常嚴(yán)格的，其主要目標(biāo)是控制顆粒和浮塵。同時(shí)，嚴(yán)格規(guī)定了環(huán)境的溫濕度、新風(fēng)量和噪聲。

 

(1)電子無塵車間噪聲級一萬(空狀態(tài))：不應(yīng)超過65 dB(A)。

 

(2)電子無塵車間垂直直流無塵車間的全布比不應(yīng)小于60%，水平單向流動(dòng)無塵車間不應(yīng)小于40%，否則為局部單向流動(dòng)。

 

(3)電子無塵車間與室外的靜壓差不應(yīng)小于10 Pa，不同空氣清潔度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

 

(4)電子無塵車間的新風(fēng)量最大值應(yīng)從以下兩項(xiàng)中取出來：(4)電子無塵車間的新風(fēng)量應(yīng)從以下兩項(xiàng)的最大值中取出來

 

(5)補(bǔ)償室內(nèi)排氣量和維持房間正壓值所需的新風(fēng)量之和。

 

(6)確保無塵工場每人每小時(shí)的新鮮空氣不少于40立方米。

 

在電子制造業(yè)無塵車間的潔凈空調(diào)系統(tǒng)加熱器中，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，設(shè)置過溫保護(hù)和斷電保護(hù)，如采用點(diǎn)加濕，應(yīng)設(shè)置無水保護(hù)，嚴(yán)寒地區(qū)應(yīng)保護(hù)新風(fēng)系統(tǒng)不結(jié)冰。