1.無(wú)塵車間應(yīng)特別設(shè)計(jì),其主樓應(yīng)具有一級(jí)和二級(jí)耐火性能;天花板、隔墻和其他結(jié)構(gòu)附件,以及保溫、隔熱和裝飾材料,應(yīng)盡可能由非可燃材料或耐火材料制成。 二、其他建筑物改建...
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更衣室應(yīng)配備一定程度的污染控制和環(huán)境控制,以確保潔凈室的完整性。同樣,潔凈室衣物和設(shè)備的存放方法和設(shè)備應(yīng)與污染敏感作業(yè)所要求的清潔程度和污染保護(hù)要求相稱。為了提供...
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凈化通風(fēng)管道安裝應(yīng)注意的事項(xiàng): (1)風(fēng)管板和風(fēng)管的清洗:制版表面的油膜和風(fēng)管、制做后的靜壓箱和附件應(yīng)用中性清洗劑清洗和干燥,烘干后表面的油膜和污垢應(yīng)在干燥后進(jìn)行清洗和...
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風(fēng)速對(duì)凈化車間凈化等級(jí)的影響 在凈化車間的設(shè)計(jì)中,空調(diào)凈化系統(tǒng)是非常重要的,那么風(fēng)速與空調(diào)凈化系統(tǒng)的凈化效率之間有什么關(guān)系呢? 小顆粒粉塵(布朗運(yùn)動(dòng))的擴(kuò)散效應(yīng)明顯,風(fēng)...
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應(yīng)該如何防止和處理無(wú)塵車間的靜電? 靜電是無(wú)塵車間中最難控制的。靜電會(huì)增加半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的廢品,降低電子設(shè)備的可靠性。因此,在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過(guò)程中,所有制造階段...
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凈化車間的正、負(fù)壓通常是根據(jù)空氣密度差和重力原理,在潔凈空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)內(nèi)外壓差不等,凈化后車間內(nèi)的正壓大于外部,一般不受外部空氣污染的5-10pa。負(fù)壓即內(nèi)壓小于外部壓力,一...
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