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1、1級:級的 無塵車間 主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對集成電路的精確要求為亞微米。 2、10級: 十級的 無塵車間 主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè)。 3、100級:百級 無塵...
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