近十年來，科學(xué)技術(shù)日新月異，對(duì)產(chǎn)品的高密度、小型化的需求日益迫切，同時(shí)也對(duì)無塵車間凈化技術(shù)的設(shè)計(jì)和發(fā)展提出了高質(zhì)量的要求。在半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造等行業(yè)中，十級(jí)無塵車間十分普遍。

 

萬級(jí)無塵車間潔凈度等級(jí)：要求高，風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需要控制，照度、斷面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范控制，另外，這種潔凈室對(duì)靜電的要求非常嚴(yán)格。"其中，對(duì)濕度的要求特別嚴(yán)重。"因?yàn)樘稍锏墓S很容易產(chǎn)生靜電，導(dǎo)致CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度應(yīng)控制在50%至60%之間。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵車間和磁盤制造車間是電子制造業(yè)潔凈室的重要組成部分。由于在制造和生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和電子產(chǎn)品質(zhì)量的要求是非常嚴(yán)格的，其主要目標(biāo)是控制顆粒和浮塵。同時(shí)，嚴(yán)格規(guī)定了環(huán)境的溫濕度、新風(fēng)量和噪聲。

 

萬間無塵車間的參數(shù)要求通風(fēng)次數(shù)分別為100000≥15次、10000≥20次、1000≥30次和100≥500次。壓差：主廠房≥5Pa的平均風(fēng)速為0。3≤0。10級(jí)和100級(jí)為5m/s，冬季>16℃，夏季<26℃，夏季±2℃。45×65%GMP粉車間濕度約為50%，電子車間濕度略高，避免靜電。噪聲≤65 dB(A)，新鮮空氣供給占總供氣量的10%≤30%，照度300 LX占總供氣量的10%≤30%。

 

萬級(jí)無塵車間的凈化要求：主要依靠潔凈氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，室內(nèi)污染將逐漸排出，以達(dá)到凈化效果。室內(nèi)氣流速度不均勻，混入回流或旋渦，不同級(jí)別凈化車間，主要依靠單位時(shí)間的送風(fēng)量來實(shí)現(xiàn)。