無塵車間風(fēng)速和風(fēng)量的檢測(cè)

單向流的風(fēng)速基本穩(wěn)定，氣流方向基本一致。入口附近的風(fēng)速與工作面相差不大，整個(gè)潔凈室的風(fēng)速也不是很好，風(fēng)速的均勻性通常可以忽略不計(jì)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題，潔凈室常用的加濕方法有多種，如淋水，濕膜，高壓噴霧超聲波等。 這些加濕方法屬于等焓加濕過程。噴蒸汽，干蒸汽，電極（電熱）加濕是將蒸汽噴入空調(diào)送風(fēng)中，加濕方式屬于等溫加濕的過程。 無塵室凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理應(yīng)采用初效，中效，高效空氣過濾器三級(jí)過濾。100000級(jí)空氣凈化處理，可用次高效空氣濾清器代替高效空氣濾清器。 凈化工程是指控制產(chǎn)品（如硅片）與大氣接觸的潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造。

非單向流動(dòng)各部分的風(fēng)速和方向是不同的。整個(gè)無塵車間的風(fēng)速均勻性差，需要考慮風(fēng)速的均勻性。有時(shí)各部分的風(fēng)速需要單獨(dú)測(cè)量。在測(cè)量風(fēng)速時(shí)，必須事先判斷風(fēng)向，因?yàn)橥ㄓ蔑L(fēng)速計(jì)的探頭具有方向性，因此在測(cè)量風(fēng)速時(shí)必須識(shí)別風(fēng)向。

由于空氣中的氣流是發(fā)散的，通常需要加蓋以確定進(jìn)氣口的風(fēng)速。

用熱球風(fēng)速計(jì)和熱球風(fēng)速計(jì)測(cè)量風(fēng)速的常用方法。熱球風(fēng)速表的靈敏度一般較高，但穩(wěn)定性較差。因此，由熱球風(fēng)速計(jì)測(cè)量的風(fēng)速應(yīng)注意藥房：檢查風(fēng)速表的外觀和工作狀態(tài)是否正常；在測(cè)量風(fēng)速前糾正風(fēng)速表的零點(diǎn)位置；測(cè)頭在校正零位置時(shí)應(yīng)處于無風(fēng)狀態(tài)；風(fēng)速計(jì)探頭的迎風(fēng)面在測(cè)量風(fēng)速時(shí)應(yīng)垂直于風(fēng)向；等待顯示器穩(wěn)定并重新讀?。伙L(fēng)速計(jì)探頭應(yīng)小心防止與其他物體接觸。

使用轉(zhuǎn)子風(fēng)速計(jì)測(cè)量風(fēng)速。轉(zhuǎn)子風(fēng)速表轉(zhuǎn)子存在一定的摩擦，早期轉(zhuǎn)子風(fēng)速計(jì)的靈敏度較低，人們不喜歡。隨著技術(shù)的發(fā)展，旋轉(zhuǎn)風(fēng)速計(jì)的靈敏度越來越高，越來越多的人使用旋轉(zhuǎn)風(fēng)速計(jì)。若要使用轉(zhuǎn)子風(fēng)速計(jì)確定風(fēng)速，請(qǐng)注意以下幾點(diǎn)：檢查轉(zhuǎn)速表的外觀和工作狀態(tài)；檢查軸的摩擦力是否正常；在測(cè)量風(fēng)速時(shí)識(shí)別氣流方向；轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)平面應(yīng)垂直于風(fēng)向；每個(gè)人都在呼吸道；在閱讀前等待穩(wěn)定。

風(fēng)速采用皮管結(jié)合微泡儀測(cè)量，靜壓和總壓采用標(biāo)準(zhǔn)皮管結(jié)合微壓計(jì)測(cè)量，動(dòng)壓由靜壓和總壓計(jì)算，風(fēng)速由動(dòng)壓計(jì)算。一般來說，用標(biāo)準(zhǔn)皮管測(cè)風(fēng)速比較靠譜。 采用標(biāo)準(zhǔn)皮管結(jié)合微泡儀測(cè)量風(fēng)洞中的標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)速。 但該方法操作繁瑣，微壓計(jì)的測(cè)量精度和靈敏度較高。用皮管測(cè)量風(fēng)速時(shí)，應(yīng)注意以下事項(xiàng):檢查標(biāo)準(zhǔn)皮管進(jìn)氣是否損壞； 檢查標(biāo)準(zhǔn)皮管是否堵塞； 檢查與皮管連接的管道是否通暢； 檢查顯示是否顯示微型壓力表正常，標(biāo)準(zhǔn)皮管放置方向是否準(zhǔn)確