無塵車間溫度測試包括功能溫度測試和一般溫度測試。無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理應(yīng)采用初效，中效，高效空氣過濾器三階段過濾。100000級空氣凈化處理，可用次高效空氣濾清器代替高效空氣濾清器。 目前無塵車間的最高級別是航天的航空倉庫，基本屬于一級，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對較小。此外，更高層次的要求是生化實驗室和高精度納米材料生產(chǎn)車間，發(fā)展物聯(lián)網(wǎng)芯片將是未來一個主要需求方向。 凈化工程是指控制產(chǎn)品（如硅片）與大氣接觸的潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造。這個環(huán)境空間的設(shè)計和施工過程，可以稱之為凈化工程。 功能溫度測試主要用于無塵車間需要嚴(yán)格控制溫度精度或施工人員需要進(jìn)行靜態(tài)或動態(tài)測試時，一般溫度測試主要用于空氣溫度測試。

在無塵車間功能溫度測試中，潔凈區(qū)域應(yīng)劃分等面積網(wǎng)格，每個網(wǎng)格面積不應(yīng)超過100平方米，或與施工方協(xié)商，每個網(wǎng)格測量點應(yīng)大于1，每個房間至少應(yīng)有2個測量點。"試驗高度應(yīng)為工作面高度，頂板與墻體，地面的距離不應(yīng)小于300mm，并應(yīng)考慮熱源的影響。 測量時間至少應(yīng)為1h，測量時間至少應(yīng)在6分鐘內(nèi)測量一次。一般溫度試驗的測點在無塵車間，每個溫控區(qū)或每個房間一個測點，測點的高度應(yīng)為工作面的高度，測量時間應(yīng)至少為1h，測量6min應(yīng)至少測量一次

無塵車間濕度測試：濕度測試可采用通風(fēng)干濕球濕度計、電容式濕度計、數(shù)字濕度計、發(fā)型濕度計。