為了檢查凈化車間的正常運(yùn)行，其中一項(xiàng)試驗(yàn)是檢查室內(nèi)空氣流量。這是整個(gè)測(cè)試程序的一部分。為了稀釋或消除室內(nèi)懸浮污染，防止室內(nèi)污染物的積聚，室內(nèi)必須有足夠的空氣流量。所以必須檢測(cè)氣流。

 

這兩種方法都是在無(wú)塵室里進(jìn)行的。為了保證污染物的清除，無(wú)塵車間的各個(gè)部位必須實(shí)現(xiàn)良好的空氣混合。在單向流凈化車間，為保證關(guān)鍵區(qū)域達(dá)到潔凈水平，送風(fēng)直接來(lái)自過(guò)濾器。

 

凈化車間的溫濕度主要根據(jù)您的加工工藝要求而定。在滿足加工工藝條件下，首先要考慮人的舒適性。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高，必須達(dá)到一定的溫濕度水平。例如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻和曝光過(guò)程中，作為掩模材料的玻璃和硅的熱膨脹系數(shù)的差別越來(lái)越小。對(duì)于直徑為100um的硅片，溫升1度將導(dǎo)致0.24um的線性膨脹。因此，有必要保持±0.1度的恒定溫度。同時(shí)，濕度值普遍偏低。出汗后，產(chǎn)品會(huì)受到污染，特別是在半導(dǎo)體車間，怕鈉。這種車間溫度不應(yīng)超過(guò)25℃。高濕度會(huì)導(dǎo)致更多問(wèn)題。當(dāng)相對(duì)濕度大于55%時(shí)，冷卻水管壁會(huì)發(fā)生冷凝。如果發(fā)生在精密器件或電路中，會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度為50%時(shí)易生銹。