凈化車(chē)間的具體工藝對(duì)溫度的要求越來(lái)越高，由于加工精度越來(lái)越高，對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越??；濕度值一般較低，因?yàn)槌龊购髸?huì)對(duì)產(chǎn)品造成污染，尤其是半導(dǎo)體車(chē)間怕鈉，這種車(chē)間不應(yīng)超過(guò)25度。

 

濕度過(guò)大會(huì)造成更多問(wèn)題。當(dāng)相對(duì)濕度大于55%時(shí)，冷卻管壁會(huì)凝結(jié)，如果發(fā)生在精密器件或電路中，會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度為50%時(shí)，很容易生銹。此外，當(dāng)濕度過(guò)高時(shí)，空氣中的水分子很難清除附著在硅片表面的灰塵。相對(duì)濕度越高，去除粘附的難度越大，但當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，由于靜電的作用，顆粒也很容易吸附在表面，大量的半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。ZUI用于硅片生產(chǎn)的最佳溫度范圍為35≤45%。

 

換氣次數(shù)是指流入房間的潔凈風(fēng)量等于房間容積的倍數(shù)，其單位為二次/小時(shí)。如果一個(gè)小時(shí)內(nèi)通過(guò)的風(fēng)量與房間的容積相同，通風(fēng)量為一次/小時(shí)，等等，通風(fēng)量是確定湍流潔凈室清潔度水平的主要參數(shù)。

 

交換氣體的次數(shù)越多，清潔程度就越高。

 

空氣交換的次數(shù)可以根據(jù)要求的空氣清潔度、室內(nèi)數(shù)量、房間面積、其他室內(nèi)灰塵和新鮮空氣比率來(lái)計(jì)算，特別是在動(dòng)態(tài)情況下，更有必要計(jì)算具體情況。

 

凈化車(chē)間壓差控制的基本原理是控制送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)，當(dāng)送進(jìn)凈化車(chē)間的風(fēng)量適當(dāng)大于回風(fēng)量和排氣量時(shí)，房間內(nèi)可保持一定的正壓值，此時(shí)在室內(nèi)外靜壓差的作用下，泄漏風(fēng)量與機(jī)箱結(jié)構(gòu)內(nèi)外機(jī)械風(fēng)量之差等于機(jī)械進(jìn)、出風(fēng)量之差。

 

壓差維護(hù)的問(wèn)題是機(jī)械送風(fēng)量和輸出風(fēng)量是動(dòng)態(tài)的。對(duì)于潔凈空調(diào)系統(tǒng)，濾塵積聚會(huì)導(dǎo)致新風(fēng)、送風(fēng)管線阻力增大，從而影響風(fēng)量，排氣設(shè)備也會(huì)導(dǎo)致排氣量的變化；此外，在走廊附近，室外熱壓和風(fēng)壓變化也會(huì)影響房間壓差。因此，需要定期檢查潔凈室的壓差，并相應(yīng)調(diào)整新送、送、回、排氣通道的氣門(mén)。