由于加工精度越來越精細(xì)，凈化車間的具體工藝對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越?。粷穸戎狄话爿^低，因?yàn)槌龊购螽a(chǎn)品會(huì)受到污染，特別是在怕鈉的半導(dǎo)體車間，溫度不宜過高超過25℃。

 

高濕度會(huì)導(dǎo)致更多問題。當(dāng)相對(duì)濕度大于55%時(shí)，冷卻水管壁會(huì)發(fā)生冷凝。如果發(fā)生在精密器件或電路中，會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度為50%時(shí)易生銹。另外，當(dāng)濕度過高時(shí)，附著在硅片表面的灰塵會(huì)被空氣中的水分子化學(xué)吸附，難以去除。相對(duì)濕度越高，粘附力越難去除。但是，當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，由于靜電的作用，顆粒很容易吸附在表面上。同時(shí)，大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)，最佳溫度范圍為35-45%。

 

凈化車間壓差控制的基本原理是對(duì)送、回、排風(fēng)進(jìn)行控制。當(dāng)凈化車間送風(fēng)量大于回風(fēng)和排風(fēng)量時(shí)，室內(nèi)可保持一定的正壓值。此時(shí)，在室內(nèi)外靜壓差的作用下，通過圍護(hù)結(jié)構(gòu)松動(dòng)部分的漏風(fēng)量與進(jìn)出機(jī)械的風(fēng)量之差相等。

 

凈化車間壓差維護(hù)的難點(diǎn)在于機(jī)械送風(fēng)量和出風(fēng)量是動(dòng)態(tài)的。對(duì)于潔凈空調(diào)系統(tǒng)，過濾器內(nèi)積灰會(huì)增加新風(fēng)和送風(fēng)管道的阻力，影響風(fēng)量。排風(fēng)設(shè)備的開啟和停止也會(huì)導(dǎo)致排風(fēng)量的變化；另外，臨近走廊和室外的房間壓差也會(huì)受到熱壓和風(fēng)壓變化的影響。因此，需要經(jīng)常檢查潔凈室的壓差，并相應(yīng)地調(diào)整新進(jìn)、回、排氣通道的閥門。