靜電是凈化車間最難控制的因素之一。靜電會(huì)增加半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的廢品,降低電子設(shè)備的可靠性。因此,在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過(guò)程中,各個(gè)制造階段都需要防止靜電對(duì)器件的作用。
1.選擇適當(dāng)?shù)牟牧希?/div>
凈化車間的裝飾應(yīng)采用不易產(chǎn)生靜電或產(chǎn)生靜電后容易漏出的材料。當(dāng)各種材料一起使用時(shí),應(yīng)選擇接近電氣順序表中位置的材料。所有材料都可以歸為導(dǎo)體或絕緣體。導(dǎo)體是電流可以通過(guò)的材料,絕緣體是電流不能通過(guò)的材料。
2.接地:
接地是帶電導(dǎo)體消除靜電的一種普遍、經(jīng)濟(jì)、簡(jiǎn)單、可靠的方法。
(1)對(duì)凈化車間可能引起靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉末管,應(yīng)采取防靜電接地措施。
(2)電子工業(yè)潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)(天花板、地面、墻、柱)應(yīng)采用防靜電裝飾,以抑制粉塵的帶電吸附。
(3)工藝設(shè)備接地。
(4)辦公設(shè)備應(yīng)由抗靜電材料和地面制成。
(5)工作人員應(yīng)穿著無(wú)塵抗靜電服裝、鞋、帽子、手套、腕帶等。
3,靜電中和:
帶電體周圍的空氣(靜電)電離后,帶電離子在電磁場(chǎng)作用下遷移,帶電體吸引異性電荷來(lái)中和和消除靜電。靜電抵消器是一種能產(chǎn)生電子和離子的裝置,它在帶電體上產(chǎn)生電子、離子和異性電荷,從而消除靜電。絕緣材料表面的靜電電荷和空氣中的靜電電荷必須通過(guò)靜電中和來(lái)消除。
4.濕度控制:
通過(guò)保持環(huán)境中的高相對(duì)濕度,薄的濕氣層將在該區(qū)域中的物體表面上形成,該濕氣層將用于提供導(dǎo)電通道,可能產(chǎn)生的電荷通過(guò)該導(dǎo)電通道流過(guò)濕氣層以耗散靜電荷在眾多消除靜電的方法中,室內(nèi)濕度控制也被考慮用來(lái)減少和消除凈化車間的靜電。此外,濕氣層薄可以增加物體表面的潤(rùn)滑性,摩擦發(fā)電也會(huì)減少。一般來(lái)說(shuō),濕度越低,產(chǎn)生的電荷越多。 但數(shù)據(jù)顯示,即使在濕度較高的情況下,也會(huì)有顯著的靜電電壓,但在高濕環(huán)境下,制造商可能會(huì)感到非常不舒服,零件可能會(huì)生銹,并造成可焊性問(wèn)題。