無論外界空氣條件如何變化，潔凈室都能保持原有的潔凈度、溫度、濕度和壓力性能。

 

無塵室的主要功能是控制接觸產(chǎn)品（如硅片）的空氣的清潔度、溫度和濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間內(nèi)生產(chǎn)和制造。這個(gè)空間叫做無塵室。根據(jù)公約，無塵凈化的水平主要取決于每立方米空氣中直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)。也就是說，所謂無塵，不是說沒有灰塵，而是控制在一個(gè)很小的單元里。當(dāng)然，與我們常見的粉塵相比，本標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，即使是一點(diǎn)點(diǎn)粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)中，無塵化是必然的要求。

 

如表所示，將粒徑大于0.5μm的微塵量控制在3500/m3以下即可達(dá)到無塵標(biāo)準(zhǔn)。在芯片級(jí)生產(chǎn)加工中應(yīng)用的無塵標(biāo)準(zhǔn)需要粉塵。如此高的標(biāo)準(zhǔn)主要用于一些高檔芯片的生產(chǎn)。粉塵量嚴(yán)格控制在每立方米1000度以內(nèi)，這在業(yè)內(nèi)俗稱1K級(jí)。