清潔技術(shù)，又稱生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù)，是近二三十年來發(fā)展起來的一門綜合性的高新技術(shù)。清潔技術(shù)專門研究和提供清潔的生產(chǎn)工藝環(huán)境和生產(chǎn)過程中使用的各種高純度介質(zhì)，有效地控制微量雜質(zhì)，以保證高科技產(chǎn)品的收率和重復(fù)性。清潔技術(shù)通常包括:空氣凈化技術(shù)，空調(diào)技術(shù)，水凈化技術(shù)，氣體凈化技術(shù)，微量雜質(zhì)控制技術(shù)，清潔環(huán)境監(jiān)測(cè)技術(shù)以及相關(guān)的環(huán)境質(zhì)量控制技術(shù)。 凈化工程技術(shù)已廣泛應(yīng)用于電子，核，航空航天，生物工程，制藥，精密機(jī)械，化工，食品，汽車制造等高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)和現(xiàn)代科學(xué)領(lǐng)域。

 

對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備來說，凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著非常重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路，集成電路的生產(chǎn)對(duì)工藝環(huán)境和工藝設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求。九五"期間，中國(guó)大力發(fā)展以微電子為核心的信息產(chǎn)業(yè)，凈化工程技術(shù)水平已成為衡量一個(gè)國(guó)家和地區(qū)科技水平和工業(yè)水平的重要標(biāo)志。

 

隨著我國(guó)人民生活水平的提高，人們對(duì)生活環(huán)境和生活質(zhì)量提出了越來越高的要求，用凈水設(shè)備配制的高純水受到了人們的廣泛歡迎，凈化工程技術(shù)開始進(jìn)入千家萬戶，進(jìn)入人們的現(xiàn)代生活。

 

與國(guó)外先進(jìn)國(guó)家相比，我國(guó)清潔技術(shù)與設(shè)備的差距明顯。1965年開始生產(chǎn)的HEPA過濾器比國(guó)外晚15年。1975年開始生產(chǎn)的光散射粉塵計(jì)數(shù)器比國(guó)外晚20年。0.1微米的清潔技術(shù)和設(shè)備在世界先進(jìn)國(guó)家已成為成熟的技術(shù)，而中國(guó)才剛剛起步。

 

為了適應(yīng)超凈技術(shù)的發(fā)展，高效過濾器的研究從未中斷，幾年來一直在開發(fā)不同結(jié)構(gòu)，不同性能的新產(chǎn)品。美國(guó)從1979年開始開發(fā)0.1微米ULPA過濾器，1984年AAF開始生產(chǎn)0。無分區(qū)的1微米ULPA濾波器。 目前，0.1微米ULPA濾光片已在美國(guó)AAF，佛蘭德斯和劍橋?qū)崿F(xiàn)商業(yè)化。 日本也成為世界上最大的0.1微米ULPA過濾器制造商，產(chǎn)品種類繁多，特別是開發(fā)低壓損失0。1微米ULPA濾鏡成功解決了初阻高的技術(shù)難題。 國(guó)際市場(chǎng)對(duì)高效空氣濾清器的需求很大，而且每年都在增長(zhǎng)。 目前，日本一年銷售100多萬臺(tái)，按平均每臺(tái)價(jià)格2億美元計(jì)算，銷售額為2億美元。然而，到目前為止，還沒有0.1微米的ULPA過濾器生產(chǎn)。用于VLSI生產(chǎn)清潔工廠的0.1微米ULPA過濾器以及各種高科技清潔工廠仍然依賴進(jìn)口。

 

在潔凈室建設(shè)規(guī)模和技術(shù)水平上，我國(guó)與先進(jìn)國(guó)家的差距更大。日本清水建設(shè)公司在1982年至1987年建成潔凈室71.8萬平方米，而我國(guó)目前一年建成潔凈室不足10萬平方米，但‘八五’期間有了很大發(fā)展。1993年建成的潔凈室總面積接近15萬平方米。 美國(guó)潔凈室建設(shè)規(guī)模更大，1998年達(dá)到188.5萬平方米。 在潔凈工程技術(shù)層面，20世紀(jì)80年代末，國(guó)外大量建成0.1微米級(jí)超潔凈室。1987年，日本三洋新瀉工廠建成了3000平方米的10尺寸潔凈廠房，NIT原木則建了4座1000平方米的1000尺寸廠房，控制0.1微米粉塵，換氣次數(shù)高達(dá)每分鐘300次。臺(tái)積電在臺(tái)灣的新工廠建成了總面積達(dá)1萬平方米的第四代管道潔凈室。潔凈廠房在大規(guī)模集成電路制造裝備投資中占比較高，不適應(yīng)集成電路技術(shù)不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)展趨勢(shì)，嚴(yán)重制約大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展

 

清潔技術(shù)和設(shè)備的國(guó)際市場(chǎng)非常巨大，日本清潔技術(shù)和設(shè)備的銷售額到80年代末90年代初就超過了35億美元。清潔設(shè)備和基礎(chǔ)部件在美國(guó)和西歐等先進(jìn)國(guó)家的銷售額已經(jīng)達(dá)到7美元。30億。 據(jù)中國(guó)電子專用設(shè)備行業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)，1990年我國(guó)最大的8家凈化設(shè)備廠銷售額為8217萬元，不足1億元，1993年達(dá)到14495萬元，占國(guó)際市場(chǎng)銷售額的0.34%。而隨著我國(guó)高新技術(shù)的迅猛發(fā)展，微電子產(chǎn)業(yè)，光纖產(chǎn)業(yè)，液晶顯示產(chǎn)業(yè)，光電子器件產(chǎn)業(yè)，生物工程和醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，我國(guó)潛在的巨大清潔技術(shù)產(chǎn)品市場(chǎng)正以每年40%≤50%的增長(zhǎng)率遞增。