做車間之前肯定要對無塵車間有一定的概念理解，比如什么是車間？

  潔凈室又叫無塵室或者無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、有害菌群等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，不論外在環(huán)境條件如何變化，潔凈室內(nèi)均能維持設(shè)定所要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能。

  潔凈室相當(dāng)重要，作用在于控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造、，提升產(chǎn)品質(zhì)量，是污染敏感產(chǎn)品重要的生產(chǎn)保證設(shè)施。無塵車間的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、尖端技術(shù)緊密的聯(lián)系在一起。目前在生物制藥、醫(yī)療衛(wèi)生、食品日化、電子光學(xué)、能源、精密器械等行業(yè)運(yùn)用已經(jīng)相當(dāng)?shù)钠毡榍页墒臁o塵車間分為幾個(gè)等級，分別為1級≥百級級≥千級級≥萬級≥十萬級≥百萬級，越排在前面，級別越高，1級是級別最高的。最常見的是百級到十萬級，不同等級還有著不同的等級標(biāo)準(zhǔn)。

  做無塵車間要做到什么程度才能合格驗(yàn)收？有哪些規(guī)范文件嗎？

  隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，制造業(yè)所需的配套產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)不斷被提高。因而工業(yè)制造商不僅需要從生產(chǎn)工藝上創(chuàng)新產(chǎn)品，更需在產(chǎn)品的生產(chǎn)環(huán)境上進(jìn)行改善，嚴(yán)格車間環(huán)境要求，提升產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定性。

  潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級標(biāo)準(zhǔn)。國內(nèi)按空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)對無塵車間進(jìn)行、驗(yàn)收，符合《GB50073-2013 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、《GB50591-2010 潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》。潔凈度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性，是檢驗(yàn)無塵車間質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、潔凈程度等因素，分為若干等級，常用的有國際標(biāo)準(zhǔn)和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

  自己做無塵車間需要先明白無塵車間等級是怎么劃分的，具體如下：

  （1）1級：1級的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè)，對集成電路的精確要求為亞微米。

  （2）10級： 十級的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。

  （3）100級：百級無塵車間并非無菌室，百級無塵車間對“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要嚴(yán)格，100級無塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等，這一無塵車間大量應(yīng)用于植如體內(nèi)物品的制造，外科手術(shù)，包括移植手術(shù)，集成器的制造，那些對細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療，如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。

  （4）1000級：千級的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于，裝配飛機(jī)蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等。

  （5）10000級：萬級無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業(yè)，此外，萬級無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。

  （6）100000級：十萬級無塵車間用于很多的工業(yè)部門，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)，液壓或氣壓系統(tǒng)的制造，食品飲料的生產(chǎn)，醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級無塵車間。

  （7）300000級別：三十萬級無塵車間級別較低，用于普通潔凈區(qū)，如級別不高的走道。

  做無塵車間還需要對地址、節(jié)能等環(huán)節(jié)進(jìn)行一定的優(yōu)化，具體如下：

  一、選址原則：無塵車間地址的選擇應(yīng)符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營費(fèi)用的原則。廠址應(yīng)設(shè)在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應(yīng)遠(yuǎn)離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區(qū)域,如機(jī)場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)面,且有一定的防護(hù)距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上 。

  二、動(dòng)線規(guī)劃要點(diǎn)：要檢討分析人車路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運(yùn)和作業(yè)的流程等，盡量縮短動(dòng)線，并避免交叉，以防止交叉污染。作業(yè)者、化學(xué)藥品、材料等動(dòng)線勿集中；無塵車間四周，宜設(shè)緩沖區(qū)；制造裝置的出入，不要對作業(yè)產(chǎn)生大影響。

  三、有些空氣凈化系統(tǒng)的空氣，如經(jīng)處理仍不能避免交叉污染時(shí)，則不能循環(huán)使用：固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序；用有機(jī)溶媒精制的原料藥精制、干燥工序；放射性藥品生產(chǎn)區(qū)；病原體操作區(qū)；工藝過程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì)、揮發(fā)性氣體的生產(chǎn)工序；固體口服制劑的顆料

  四、節(jié)能原則：無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。

  對于無塵車間內(nèi)的塵埃粒子顆粒如何檢測？用哪種儀器比較好？

  塵埃粒子檢測儀是檢測塵埃粒子顆粒及潔凈廠房等級的專用檢測儀器，目前激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的用戶越來越多，激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥、電子、精密機(jī)械、彩管制造、微生物等行業(yè)中，實(shí)現(xiàn)對各種潔凈等級的工作臺、凈化室、凈化車間的凈化效果、潔凈級別進(jìn)行監(jiān)控，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量。

  激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器是用來測量空氣中塵埃微粒的數(shù)量及粒徑分布的儀器， 從而為空氣潔凈度的評定提供依據(jù)。 常見的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器是光散射式（DAPC）的，測量粒徑范圍 0.1-10 μ m，此外還有凝聚核式的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器（ CNC），可測量尺寸更小的塵埃粒子。

  激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的工作原理是什么？

  激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器基本原理是光學(xué)傳感器的探測激光經(jīng)塵埃粒子散射后被光敏元件接收并產(chǎn)生脈沖信號，該脈沖信號被輸出并放大，然后進(jìn)行數(shù)字信號處理，通過與標(biāo)準(zhǔn)粒子信號進(jìn)行比較，將對比結(jié)果用不同的參數(shù)表示出來?？諝庵械奈⒘Ｔ诠獾恼丈湎聲l(fā)生散射，這種現(xiàn)象叫光散射。

  光散射和微粒大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關(guān)。但是就散射光強(qiáng)度和微粒大小而言，有一個(gè)基本規(guī)律，就是微粒散射光的強(qiáng)度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測定散射光的強(qiáng)度就可推知微粒的大小，實(shí)際上，每個(gè)粒子產(chǎn)生的散射光強(qiáng)度很弱，是一個(gè)很小的光脈沖，需要通過光電轉(zhuǎn)換器的放大作用，把光脈沖轉(zhuǎn)化為信號幅度較大的電脈沖，然后再經(jīng)過電子線路的進(jìn)一步放大和甄別，從而完成對大量電脈沖的計(jì)數(shù)工作。此時(shí)，電脈沖數(shù)量對應(yīng)于微粒的個(gè)數(shù)， 電脈沖的幅度對應(yīng)于微粒的大小。

  光源

  光源是激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的關(guān)鍵部件，對儀器的性能影響很大。光源要求穩(wěn)定性高、壽命長、不受干擾。 激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的光源有普通光源和激光光源兩種。

  普通光源為碘鎢燈， 體積大、發(fā)熱量高、壽命短，開機(jī)后需要預(yù)熱。激光光源為激光器，體積小、穩(wěn)定性高、壽命長，常與檢測腔及光檢測器做成一體，組成傳感器。

  常見的激光光源有 HeNe激光器、激光二極管。采用普通光源的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器對0.3 μ m以下的微粒信號響應(yīng)很低，其信號幅度與計(jì)數(shù)器本身的噪聲幅度相差無幾，信號很難從噪聲中檢測出來。

  此類儀器雖然標(biāo)有 0.3 μ m這一通道，但只適于測定大于 0.3 μ m特別是 0.5 μ m 以上的微粒。 由于激光的單色性好，光能量集中穩(wěn)定， 所以采用激光光源的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器其傳感器有較高的信噪比，此類儀器有些能檢測到 0.1 μ m 的微粒。

  測量腔

  測量腔是進(jìn)行微粒觀測的空間， 被采集的空氣要從測量腔內(nèi)穿過。 儀器的光學(xué)系統(tǒng)使光源經(jīng)透鏡、狹縫照射到測量腔中， 形成一個(gè)體積約幾個(gè)立方毫米的光敏感區(qū)。當(dāng)空氣中的塵埃通過光敏感區(qū)時(shí)，會散射出一部分光能量，被與入射光成一角度（90度或70度）的集光透鏡收集，再投射到光檢測器上。

  光檢測器

  光檢測器是將散射光能量轉(zhuǎn)換為電信號的光電轉(zhuǎn)換器件。激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器中最常用的光檢測器是光電倍增管和光電二極管。

  光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉(zhuǎn)換成幾個(gè)毫伏到幾十毫伏的電信號， 具有光譜線性好、 響應(yīng)時(shí)間快、暗電流小的優(yōu)點(diǎn)，缺點(diǎn)是體積大。

  光電倍增管工作時(shí)需加上幾百伏特的負(fù)高壓，儀器中有相應(yīng)的高壓產(chǎn)生電路，在對儀器進(jìn)行調(diào)試或校準(zhǔn)時(shí)應(yīng)注意安全。光電二極管是一種受到光照后能產(chǎn)生電子的半導(dǎo)體元件，具有體積小、外圍電路簡單的特點(diǎn)，常與檢測腔做成一體。

  流量監(jiān)控

  激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的采樣流量一般為 2.83L/min 或 28.3L/min，進(jìn)口儀器常標(biāo)識為 0.1cfm（立方英尺每分鐘）或 1cfm，主要是為了便于進(jìn)行符合 Fed-Std-209E 的潔凈度的計(jì)算。大流量的采樣（28.3L/min）更能準(zhǔn)確地反映空氣的潔凈狀況，但使最大采樣濃度降低。

  氣泵及過濾器

  氣泵位于激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器內(nèi)部，氣泵使儀器產(chǎn)生采樣流量。氣泵要求噪音低、振動(dòng)小、產(chǎn)生的氣流穩(wěn)定。過濾器應(yīng)能過濾掉 0.3 μ m 以上的微粒，以免從儀器排出的空氣對潔凈區(qū)產(chǎn)生影響。

  電路系統(tǒng)

  不同粒徑大小的粒子經(jīng)激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的光電系統(tǒng)轉(zhuǎn)換后， 會產(chǎn)生不同幅度 （電壓） 的電脈沖信號，粒徑越大，脈沖電壓越高。信號電壓與粒徑之間的關(guān)系，也叫轉(zhuǎn)換靈敏度。

  對于給定的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器， 粒徑大小與脈沖電壓是一一對應(yīng)的， 例如某臺激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的轉(zhuǎn)換靈敏度為 0.3 μ m對應(yīng)69mv，0.5 μ m 對應(yīng) 531mv，1.0 μ m對應(yīng) 701mv 等，若激光塵埃粒子計(jì)數(shù) 器檢測到一個(gè)脈沖為100mv，則這個(gè)粒子的大小肯定大于0.3 μ m而小于0.5μm。

  激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器是測量大于等于某一粒徑的粒子數(shù)量的儀器，其內(nèi)部電路就是統(tǒng)計(jì)大于等于某一電壓值的脈沖數(shù)量的電路。對于上段中的例子，測量空氣中大于等于 0.3 μ m粒子的數(shù)量，在電路中就是統(tǒng)計(jì)大于等于 69mv 的脈沖的個(gè)數(shù)， 測量大于等于 0.5 μ m粒子的數(shù)量，在電路中就是統(tǒng)計(jì)大于等于 531mv 的脈沖的個(gè)數(shù)，依此類推。所以儀器對塵埃粒子的測量，主要靠轉(zhuǎn)換靈敏度這個(gè)參數(shù)。

  另外需要說明的是，每臺激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的轉(zhuǎn)換靈敏度均不同， 在出廠時(shí)及以后須定期用標(biāo) 準(zhǔn)粒子進(jìn)行校準(zhǔn)，以獲得最佳轉(zhuǎn)換靈敏度值。 電路系統(tǒng)就是完成對脈沖信號的放大、甄別、計(jì)數(shù)的電路。此外還包括電源、控制、顯示、計(jì)算、打印等電路。