近年來(lái)信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)技術(shù)應(yīng)用的進(jìn)步，很多電子設(shè)備功能、質(zhì)里的提升和生產(chǎn)流程的微細(xì)化，日漸標(biāo)準(zhǔn)制造環(huán)境具備一定的空氣潔凈度等級(jí)和調(diào)節(jié)潔凈室內(nèi)工藝技術(shù)生產(chǎn)制造所需要的各項(xiàng)高純度物質(zhì)的供給品質(zhì)。那么電子產(chǎn)品凈化車間設(shè)計(jì)的空氣潔凈度等級(jí)要什么標(biāo)準(zhǔn)？能達(dá)到凈化車間的目的嗎？請(qǐng)跟隨奧宣凈化一起來(lái)了解一下吧。

  現(xiàn)階段國(guó)內(nèi)外還沒(méi)一致的電子設(shè)備的空氣潔凈度等級(jí)或制造環(huán)境調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)的一致規(guī)范，各種電子設(shè)備的生產(chǎn)商根據(jù)其生產(chǎn)制造的產(chǎn)品種類、所選用的制作工藝技術(shù)應(yīng)用、生產(chǎn)制造工藝設(shè)備、生產(chǎn)制造用原輔料以及潔凈室運(yùn)行的工作經(jīng)驗(yàn)明確設(shè)計(jì)修建潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)。
我們來(lái)看一個(gè)薄膜晶體管彩色液晶顯示器(TFT-LCD)生產(chǎn)制造用潔凈室的案例。TFT-LCD具備體型小、品質(zhì)輕、易隨身攜帶、用電量低、色彩通真、大容量、高分辨率顯示等優(yōu)勢(shì)，在便攜筆記本、電視、攝像機(jī)、導(dǎo)航儀、高檔游戲機(jī)、TV電話等各個(gè)領(lǐng)域運(yùn)用日漸普遍。

  TFT-LCD制作工藝較復(fù)雜，技術(shù)難度和成本均較高，對(duì)制造環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)也較高，其工藝技術(shù)過(guò)程薄膜晶體管有矩陣工藝與大規(guī)模集成電路制作工藝相似，制作工藝對(duì)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)、溫度濕度、防微振和高純度物質(zhì)的供應(yīng)等均有較嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn)。現(xiàn)以某廠TFT-LCD潔凈室設(shè)計(jì)修建所選用有關(guān)生產(chǎn)制造環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)舉例如下。

  各潔凈室空氣潔凈度等級(jí):控制粒子粒徑為0.3μm
清洗、涂膠、曝光間 ISO 4級(jí)
顯影、刻蝕間 ISO 5級(jí)
成盒間 ISO 5級(jí)
濺射、CVD間 ISO 6級(jí)
溫度、濕度要求
清洗、涂膠、曝光間 23℃±1℃，55%±15%
顯影、刻蝕間 23℃±1℃，55%±5%
成盒間 23℃±2℃，55%±5%
濺射、CVD間 23℃±1℃，55%±5%
噪聲控制要求 65dB (A)

  我們?cè)賮?lái)看一個(gè)高密度磁帶生產(chǎn)用潔凈廠房，潔凈無(wú)塵車間控制微粒粒徑0.5μm
各潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)要求:
涂布頭 ISO 5級(jí)(局部、設(shè)備自帶)
備件、切帶、帶基、、徐布間和供干、固化間 ISO 6級(jí)
組裝、維修間和部分原料庫(kù) ISO 7級(jí)
砂磨、化驗(yàn)間和配件間 ISO 8級(jí)
成品庫(kù)和部分原料庫(kù) 準(zhǔn)潔凈間
各潔凈室的溫、濕度要求:
要求ISO 5---7級(jí)的各潔凈間 23℃±1℃，50%±5%
(其中，固化間因生產(chǎn)工藝特殊要求，溫度為42℃±1℃，相對(duì)濕度<50%)
要求ISO 8級(jí)的各潔凈間 23℃±1℃，<50%