世界各國均有自定規(guī)格， 但普遍依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)， 可將無塵室分為六級(jí)。 分別是 1 級(jí)、 10 級(jí)、 100 級(jí)、 1000 級(jí)、 10000 級(jí)、 100000 級(jí)，如果無塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為 0.5 μm ，例如， 1 級(jí)、 10 級(jí)、 100 級(jí)無塵室最大塵粒數(shù)目分別小于或等于 1 顆、 10 顆、 100 顆，如果塵粒尺寸不是 0.5 μm ，無塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來表示。例如： 10 級(jí)在 0.2 μm( 塵粒尺寸在 0.2 μm 或更大下，密度不大于 75 顆/ 立方英尺 )，1 級(jí)在 0.1 μm( 塵粒尺寸在 0.1 μm 或更大下，密度不大于 35 顆/立方英尺 )。

  一、萬級(jí)潔凈室的標(biāo)準(zhǔn)(按塵粒數(shù)目和微生物數(shù)目來定義的):

  1.塵粒允許數(shù)(每立方米):大于或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過350000個(gè)；大于或等于5微米的粒子數(shù)不得超過2000個(gè)。

  2.微生物允許數(shù):浮游菌數(shù)每立方米不得超過100個(gè)；沉降菌數(shù)每培養(yǎng)皿不得超過3個(gè)。

  二、萬級(jí)潔凈室主要檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)包括：

  1.氣流速度及其均勻度檢測(cè)。這項(xiàng)檢測(cè)是無塵室效果的其他各項(xiàng)檢測(cè)的前提，這項(xiàng)檢測(cè)的目的是為了明確單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。

  2.系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測(cè)。

  3.室內(nèi)潔凈度的檢測(cè)。潔凈度的檢測(cè)是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度級(jí)別，可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)。

  4.自凈時(shí)間的檢測(cè)。通過確定自凈時(shí)間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。

  5.氣流流型檢測(cè)。

  6.噪聲的檢測(cè)。

  7.照度的檢測(cè)。照度檢測(cè)的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

  8.振動(dòng)的檢測(cè)。振動(dòng)檢測(cè)的目的是為了判明無塵室各表明的振動(dòng)幅度。

  9.溫、濕度的檢測(cè)。溫、濕度檢測(cè)的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測(cè)無塵室的送風(fēng)溫度，檢測(cè)有代表性測(cè)點(diǎn)的空氣溫度，檢測(cè)無塵室中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測(cè)敏感元件處的空氣度，檢測(cè)室內(nèi)空氣相對(duì)溫度，檢測(cè)回風(fēng)溫度。

  10.總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測(cè)。