根據(jù)國際慣例，無塵凈化水平主要根據(jù)每立方米空氣中粒徑大于分區(qū)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來確定。換句話說，所謂的無塵不是100%沒有少量灰塵，而是控制在一個(gè)非常小的單元中。當(dāng)然，與我們的普通粉塵相比，本標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒非常小，但即使是一點(diǎn)點(diǎn)粉塵也會(huì)對(duì)光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)生非常負(fù)面的影響。因此，無塵是光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品生產(chǎn)的必然要求

每立方米小于0.5微米的細(xì)粉塵量控制在3500以下，已達(dá)到國際無塵a級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。目前，芯片級(jí)生產(chǎn)加工所采用的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)粉塵的要求高于A級(jí)，該高標(biāo)準(zhǔn)主要用于一些高級(jí)別芯片生產(chǎn)。微塵量嚴(yán)格控制在每立方米1000以內(nèi)，這在行業(yè)中通常被稱為1K級(jí)

以下是無塵車間需要了解的凈化參數(shù)：

1。隔間、天花板材料和天花板高度

 2。地板材料

 3。是否有恒定的溫度和濕度

 4。是否需要通風(fēng)

 5。車間的總?cè)藬?shù)

 6人。車間工藝設(shè)備的加熱能力

及一系列參數(shù)

 10萬無塵車間的標(biāo)準(zhǔn)為：

最大允許粉塵數(shù)量（每立方米）

大于或等于0.5微米的顆粒數(shù)量不得超過3500000，大于或等于5微米的顆粒數(shù)量不得超過20000 

最大允許微生物數(shù)量

浮游細(xì)菌數(shù)量不得超過每立方米500 

沉降細(xì)菌數(shù)量不得超過每培養(yǎng)皿10 

壓差：相同清潔度的潔凈室壓差應(yīng)一致。不同清潔度的相鄰潔凈室之間的壓差應(yīng)為≥ 5pa，潔凈室和非潔凈室之間的應(yīng)為≥ 10Pa 

當(dāng)10萬級(jí)無塵車間對(duì)溫濕度無特殊要求時(shí)，宜穿干凈舒適的工作服，冬季溫度一般控制在20~22℃；夏季24～26℃；波動(dòng)±2℃。潔凈室的濕度冬季控制在30-50%，夏季控制在50-70%

配電：無塵車間（區(qū)）內(nèi)主要生產(chǎn)用房的總照度值應(yīng)為≥ 300lx；輔助工作間、人員凈化和材料凈化間、氣閘室、走廊等的照度值應(yīng)為200~300lx 

噪聲控制

 I。在動(dòng)態(tài)試驗(yàn)期間，10000級(jí)無塵車間的噪聲級(jí)不得超過70dB a 

 2，10000級(jí)湍流無塵車間的噪聲級(jí)不應(yīng)大于60 dB a 

空氣分配? 10萬級(jí)無塵車間

 1主要送風(fēng)方式。局部孔板屋頂送風(fēng)

 2。帶擴(kuò)散器的高效空氣過濾器的天花板送風(fēng)

 3。有三種送風(fēng)方式，如上側(cè)墻送風(fēng)

回風(fēng)方式主要用于10萬無塵車間

 1。在一側(cè)墻的下部設(shè)有回風(fēng)口；2.采用走廊回風(fēng)時(shí)，回風(fēng)口應(yīng)均勻布置在走廊內(nèi)或集中布置在走廊末端

送風(fēng)口風(fēng)速：M/s:

 1?？装蹇?~5 

 2。側(cè)送風(fēng)口：

（1）附風(fēng)2~5 

（2）未附風(fēng)的回風(fēng)在同側(cè)墻下部為1.5~2.5，在對(duì)側(cè)墻下部為1.0~1.5 

回風(fēng)出口風(fēng)速（M/s）：?1.潔凈室回風(fēng)出口不大于2 

 2。走廊內(nèi)的回風(fēng)出口不得大于10萬級(jí)無塵車間進(jìn)出人員的4 

標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程? 1目的? 建立進(jìn)出10萬級(jí)無塵車間人員的標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程，確保無塵車間不受人員污染

 2范圍? 10萬名無塵車間人員，包括生產(chǎn)操作人員，維護(hù)人員和管理人員

 3職責(zé)

 3.1所有進(jìn)出10萬無塵車間的人員應(yīng)負(fù)責(zé)本操作程序

 3.2無塵車間組長和現(xiàn)場質(zhì)量控制員負(fù)責(zé)監(jiān)督和檢查

 4內(nèi)容

 4.1進(jìn)入無塵車間大門并放下雨具和物品在指定位置

 4.2更換拖鞋。在換鞋處，坐在鞋凳上，脫下家用鞋，放入鞋柜，旋轉(zhuǎn)180度，拿出鞋柜上層的拖鞋，穿上

 4.3換工作服。進(jìn)入綜合工區(qū)辦公室，脫下員工休閑服，換上工作服

 4.4洗手。按照洗手流程洗手

 4.5更換工作鞋。進(jìn)入換鞋間的門，坐在水平凳子上，面向門，脫下拖鞋，將拖鞋放入鞋柜的下層，從鞋柜的上層取出工作鞋，坐下并旋轉(zhuǎn)180度，將背部放在門上

 4.6洗手并用洗手盆中的水將雙手濕潤至手腕以上10厘米，用洗滌劑清洗，使雙手和手腕上方10厘米處的皮膚充滿泡沫，并摩擦約15秒

 4.6.2用水洗手，沖洗手上的大米，上下轉(zhuǎn)動(dòng)雙手，揉搓至不油膩為止

 4.6.3用眼睛檢查雙手是否干凈

 4.6.4將手掌伸至烘干機(jī)下方8~10cm處，并將手烘干

 4.7更換干凈的內(nèi)衣。脫下工作服，放進(jìn)個(gè)人儲(chǔ)物柜。從第一班更衣室墻上的掛鉤上取下工作帽、工作服、工作褲及個(gè)人編號(hào)，并更換。從上到下穿，即先戴帽子和口罩，然后穿外套，然后穿褲子。注意把外套緊緊地系在褲兜里，把所有的頭發(fā)塞進(jìn)帽子里，檢查衣服和帽子是否整齊

 4.8洗手消毒

 4.8.1用洗手盆里的水將雙手濕潤到手腕以上10厘米，用洗滌劑清洗，讓雙手和手腕以上10厘米的皮膚充滿泡沫，搓15秒左右

 4.8.2用水洗手，用手上的大米沖洗干凈，上下轉(zhuǎn)動(dòng)雙手，直到感覺不油膩為止

 4.8.3用眼睛檢查雙手是否干凈

 4.8.4消毒。將手浸入手腕上方10厘米處的氯消毒液中30秒

 4.8.5將手掌伸至烘干機(jī)下方8~10厘米處，并將手干燥

 4.9穿連體衣服。從衣柜里拿出帶有個(gè)人號(hào)碼的連體衣。從下到上穿上。注意不要讓連體衣接觸地面

 4.10消毒。推門進(jìn)入緩沖室，雙手置于裝有75%乙醇的自動(dòng)感應(yīng)噴霧下，用噴霧消毒，雙手放下，讓乙醇干燥

 4.11進(jìn)入無塵車間。打開緩沖室門，進(jìn)入無塵區(qū)

 4.12離開清潔區(qū)的人員應(yīng)遵循進(jìn)入清潔區(qū)的相反程序。拖拉工作服時(shí)注意從下到上剝落

 4.13外來人員必須經(jīng)工廠批準(zhǔn)，在車間管理人員的指導(dǎo)和監(jiān)督下，按規(guī)定程序進(jìn)入無塵車間。外來參觀人員必須嚴(yán)格遵守車間的無塵管理規(guī)定。生產(chǎn)過程中，外國訪客不得進(jìn)入無塵車間。