凈化車間內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，本節(jié)將對(duì)該二系統(tǒng)之運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)及保養(yǎng)做一概略說明。

5G凈化車間如何維護(hù)凈化設(shè)備

凈化車間內(nèi)之生產(chǎn)制造設(shè)備注意之重點(diǎn)有三：

1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：

a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。

b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。

c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。

d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí)，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。

e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無(wú)塵室外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。

f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí)，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。

g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。

h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，水濂柜避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。

i.當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。

j.對(duì)于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出凈化車間之各項(xiàng)規(guī)定，且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。

k.應(yīng)有凈化車間專用工具組，但不得帶出凈化車間外使用。

l.規(guī)劃空間時(shí)若能臨近凈化車間設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊(cè)置放室，將是一理想之規(guī)劃。

2.凈化車間生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施：

a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。

b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。

c.在操作時(shí)，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。

d.不得有太大或不必要的操作動(dòng)作，以免卷起附近之灰塵。

e.各項(xiàng)廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備。

f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。

3.自動(dòng)化與無(wú)塵化：

a.凈化車間設(shè)立自動(dòng)化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費(fèi)用相當(dāng)昂貴，須詳加評(píng)估。