高檔潔凈室的生產(chǎn)成本很高。一般來(lái)說(shuō)，室內(nèi)裝修（墻壁、頂部、地板、門(mén)窗等）和空調(diào)凈化系統(tǒng)（包括制冷、空調(diào)設(shè)備和管件、凈化設(shè)備和附件等）的初始成本約為每平方米 1000 元。

 

如果加入純凈水準(zhǔn)備和系統(tǒng)管道、純氣體攻擊和系統(tǒng)管道、廢水管理設(shè)備和管道、消防系統(tǒng)、供應(yīng)和自動(dòng)控制系統(tǒng)、真空清洗系統(tǒng)等，單位面積的生產(chǎn)成本應(yīng)高達(dá) 25000 元 /m2。

 

生產(chǎn)上海華虹 NEC 超大型集成電路芯片生產(chǎn)線潔凈室，華虹 NEC 為每月交付 8 片硅片集成電路前處理生產(chǎn)線 30000 條，凈室面積約為 12000 平方米，中間部分為 10000 平方米，另一側(cè)為 2000 平方米。

 

中央 10000 平方米潔凈室內(nèi)設(shè)有 1000 平方米級(jí) 10 級(jí)和 100 級(jí)直通式單向流動(dòng)潔凈室。另外，6000 平方米為 1000 級(jí)、10000 級(jí)和非單向流動(dòng)潔凈室，總供氣量約 640 萬(wàn)立方米，1998 年底竣工投產(chǎn)。

 

項(xiàng)目總投資約 100 億元，其中電力設(shè)備和民用建筑投資 20 億元，占總投資的 1 /5。僅作為中心一部分的 10000 平方米潔凈室的生產(chǎn)成本就高達(dá) 6000 萬(wàn)美元（約合 5 億美元），相當(dāng)于日本三機(jī)廠社會(huì)建設(shè)每平方米約 50000 元人民幣。高檔潔凈室由于凈化風(fēng)量大、新風(fēng)量大、對(duì)溫濕度要求高等原因，工作管理成本較大，空氣熱濕處理和送風(fēng)送風(fēng)能耗大，能耗大，工作成本高。