無菌室，又稱無塵潔凈室

 

一、無塵潔凈室是指在一定的空間范圍內(nèi)，從空氣中排放微粒、細(xì)菌等污染物，以及室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲振動、照明、靜電在一定要求范圍內(nèi)的排放，無塵潔凈室是專門設(shè)計和建造的。

 

第二，無塵潔凈室的原理。潔凈室是使用高效空氣凈化設(shè)備，其除塵率為99.97%，所以用這種過濾器過濾的空氣可以說是非常干凈的。然而，除了人外，潔凈室里還有機(jī)器等塵埃源。一旦灰塵擴(kuò)散，就無法保持干凈的空間，因此有必要利用氣流迅速排出外部的灰塵。

 

第三，三間無塵潔凈室內(nèi)的灰塵。無塵潔凈室有三條原則：禁塵、攜塵和產(chǎn)塵.空氣淋浴房作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一，是控制粉塵的凈化設(shè)備之一。它可以大大減少因員工進(jìn)出無塵潔凈室而造成的污染問題。風(fēng)淋浴房的兩扇門采用電子聯(lián)鎖，可同時充當(dāng)氣門室，防止外部污染和未凈化的空氣進(jìn)入無塵潔凈區(qū)，滿足生產(chǎn)車間的生產(chǎn)清潔環(huán)境要求。

 

第四，無塵潔凈室的主要功能是控制產(chǎn)品(如硅片等)接觸到的空氣的潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)和制造，我們稱之為無塵潔凈室。按照慣例，無塵凈化水平主要是以每立方米空氣中粒徑大于分度標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)為依據(jù)的。也就是說，所謂的無塵并不是沒有一點灰塵，而是控制在一個很小的單位。當(dāng)然，與普通粉塵相比，符合本標(biāo)準(zhǔn)中粉塵標(biāo)準(zhǔn)的微粒已經(jīng)很小，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，即使是少量的塵埃也會產(chǎn)生很大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)建筑產(chǎn)品的生產(chǎn)中，無塵是必然的要求。

 

五、每立方米粒徑小于0.5微米的粉塵量控制在3500以下，達(dá)到無塵標(biāo)準(zhǔn)。目前，芯片級生產(chǎn)中使用的無塵標(biāo)準(zhǔn)高于主要用于一些高檔芯片生產(chǎn)的無塵標(biāo)準(zhǔn)。粉塵量嚴(yán)格控制在每立方米1000粒以內(nèi)，這在業(yè)界通常稱為1K級。