100級凈化車間標(biāo)準(zhǔn):大于或等于0.5μm的細(xì)顆粒數(shù)超過350個粒子/m3(0.35個粒子/L)到不超過3500個粒子/m3(3.5個粒子/L);大于或等于5μm的細(xì)顆粒數(shù)為0。相對而言,10萬級和1000級是較低的清洗標(biāo)準(zhǔn),而100級潔凈凈化車間是較高級別之一。此類生產(chǎn)車間主要用于電子設(shè)備制造等高精度領(lǐng)域。
百級凈化車間旋風(fēng)除塵方式為層流式。氣體以均勻的橫截面速度沿平行平面沿流線主題運(yùn)動。它不同于流體力學(xué)中對層流的定義。實(shí)際上,它是直層和流動側(cè)的送風(fēng)。與100級以上凈化車間采用的混流或漩渦模式(即氣體以不均勻的速率呈現(xiàn)非平行平面流線主題活動)相比,具有功效完全、工作舒適穩(wěn)定、粉塵積聚和再懸浮極少、解決簡單等權(quán)益。但是機(jī)械設(shè)備的工程造價很高,維修費(fèi)用也很高。
百級生產(chǎn)車間清潔度高。機(jī)械設(shè)備的溫度、環(huán)境濕度、排風(fēng)量、壓差、排風(fēng)系統(tǒng)可按要求進(jìn)行控制。凈化室截面的光強(qiáng)和風(fēng)力可根據(jù)設(shè)計(jì)方案或標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行控制。此外,此類凈化室對靜電感應(yīng)有嚴(yán)格的規(guī)定。其中環(huán)境濕度要求較高。在工業(yè)車間,由于干燥過度,容易引起靜電感應(yīng),導(dǎo)致CMOS集成電路的破壞。一般來說,電子器件工業(yè)車間溫度控制在22℃,空氣濕度控制在50%-60%之間(獨(dú)特的凈化車間有相應(yīng)的溫濕度要求)。
生產(chǎn)車間清潔度:大于或等于0.1μm的較大顆粒數(shù)不超過100個。壓差和溫濕度:溫度22℃±2;環(huán)境濕度55%±5;基本要求全氟橡膠,采用高架地板。制定Mau+FFU+DC管理系統(tǒng)。還有持續(xù)正壓,保證相鄰房間的滲透壓力在10Pa以上和以下
100級凈化車間換氣量為:10萬級≥15次;10000級≥20次;1000級≥30次;100≥500次。光照強(qiáng)度:由于潔凈室的大部分工作內(nèi)容都有詳細(xì)的規(guī)定,而且都是密閉的,所以對照明燈具的要求總是很高的。