所謂潔凈室凈化工程，就是控制產(chǎn)品（如硅片）所接觸的大氣的清潔度、溫度和濕度，使產(chǎn)品在良好的環(huán)境中生產(chǎn)和制造。這個空間的設(shè)計和施工過程可以稱為凈化工程。它可分為混沌流型和層流型。

1、 湍流型

空氣從空調(diào)箱經(jīng)潔凈室內(nèi)的風(fēng)道和高效空氣過濾器進入潔凈室，從潔凈室兩側(cè)的隔墻板進入潔凈室地板回風(fēng)。流動是非線性的，呈現(xiàn)不規(guī)則的湍流或漩渦狀態(tài)。此類型適用于1000-100000級。優(yōu)點：結(jié)構(gòu)簡單，系統(tǒng)建設(shè)成本低，便于擴大潔凈室，在一些特殊使用場所，還可以采用無塵工作臺，提高潔凈室的檔次。缺點：室內(nèi)漂浮湍流產(chǎn)生的粉塵顆粒不易排出，易污染染色工藝產(chǎn)品。此外，如果系統(tǒng)停止并重新啟動，則需要相當長的時間才能達到所需的清潔度。

層流空氣以均勻的直線流動。空氣通過有蓋過濾器進入房間，然后通過高架地板或兩側(cè)的隔墻返回。適用于要求高的潔凈室。一般潔凈室等級為1-100。它可分為兩種類型：

（1）水平層流：水平空氣由過濾器向一個方向吹出，由對墻回風(fēng)系統(tǒng)返回。下游揚塵隨風(fēng)排放，室外污染普遍嚴重。

優(yōu)點：結(jié)構(gòu)簡單，運行后短時間內(nèi)穩(wěn)定。缺點：成本高于湍流型，內(nèi)部空間不易擴展。

（2） 垂直層流式：房間屋頂覆蓋ULPA過濾器，空氣自上而下吹氣，潔凈度更高。在不影響其他工作區(qū)域的情況下，工藝或人員產(chǎn)生的粉塵可迅速排出房間外。

優(yōu)點：易于管理，運行初期在短時間內(nèi)穩(wěn)定，不易受運行狀態(tài)或操作人員的影響。

缺點：施工成本高，彈性空間使用困難，吊頂?shù)鯒U占用空間，過濾器維護更換麻煩