空氣干凈嗎?為了了解這個(gè)問(wèn)題,恐怕沒(méi)有專業(yè)的儀器和設(shè)備,我們只能憑嗅覺(jué)來(lái)判斷。但是,在芯片生產(chǎn)車間,只靠鼻子判斷空氣是否干凈是不夠的,因?yàn)樾酒纳a(chǎn)成本很高,很脆弱。在生產(chǎn)過(guò)程中,對(duì)環(huán)境的要求幾乎是嚴(yán)格的。芯片應(yīng)在無(wú)菌、靜電、無(wú)塵和無(wú)氣體環(huán)境中使用.因此,芯片必須在高度清潔的電子無(wú)塵車間生產(chǎn)和制造.只有這樣,芯片才能更大程度地被燒毀和報(bào)廢。因此,對(duì)于企業(yè)來(lái)說(shuō),電子無(wú)塵車間在芯片生產(chǎn)過(guò)程中是非常重要的.那么,電子無(wú)塵車間對(duì)芯片的要求是什么呢?
電子工業(yè)的生產(chǎn)過(guò)程需要抗靜電和抗振動(dòng)性能,室內(nèi)氣體種類繁多。因此,電子無(wú)塵車間要求高純度和清潔度:
1.室內(nèi)空氣中的噪音不應(yīng)大于60分貝(A)。
2.潔凈室室內(nèi)外靜壓差不小于10 Pa,潔凈區(qū)和不凈區(qū)不小于5Pa。
第三,布比卡因在電子制造業(yè)無(wú)塵車間中的合理分布。單向流動(dòng)潔凈室應(yīng)大于或等于40%,垂直流動(dòng)潔凈室應(yīng)小于60%。只有這樣,布比卡因才能分布,否則將成為局部單向流動(dòng),為電子無(wú)塵車間空調(diào)系統(tǒng)加熱器提供新鮮空氣和過(guò)熱關(guān)機(jī)保護(hù),并為寒冷地區(qū)的新鮮空氣系統(tǒng)提供防凍劑保護(hù)措施。
高性能無(wú)塵車間可以為電子芯片的生產(chǎn)制造創(chuàng)造一個(gè)高度清潔的環(huán)境。只有在這種環(huán)境下,才能保證電子芯片的安全生產(chǎn)。