隨著生活水平的提高，人們對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量提出了越來越嚴(yán)格的要求。因此，無塵車間生產(chǎn)廠家對(duì)車間設(shè)計(jì)的各個(gè)方面都提出了更高的要求，尤其是在濕度方面，也有嚴(yán)格的要求。

 

業(yè)內(nèi)人士可能會(huì)明白這一點(diǎn)：高濕度實(shí)際上減少了無塵電子車間表面靜電電荷的積累，這是人們所希望的結(jié)果；較低的濕度更適合電荷積累，并成為靜電釋放的潛在破壞性來源。

 

因此，當(dāng)相對(duì)濕度超過50%時(shí)，靜電開始迅速消散，但當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們會(huì)在絕緣體或不接地的表面上持續(xù)很長(zhǎng)時(shí)間。

 

相對(duì)濕度在35%到40%之間可以說是一個(gè)令人滿意的妥協(xié)，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般使用額外的控制裝置來限制靜電電荷的積累。許多化學(xué)反應(yīng)的速率，包括腐蝕過程，都會(huì)隨著相對(duì)濕度的增加而加快。所有暴露在無塵車間和潔凈室周圍空氣中的表面都被至少一層水迅速覆蓋。當(dāng)這些表面由能與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度會(huì)加速反應(yīng)。幸運(yùn)的是，一些金屬，如鋁，可以與水形成保護(hù)性氧化物，防止進(jìn)一步氧化；但也有其他不具有保護(hù)作用的情況，例如氧化銅，在高濕度環(huán)境中，銅表面更容易受到腐蝕。