相信任何企業(yè)都非常關(guān)心無塵車間的能耗。通過十多年的凈化設(shè)計和施工經(jīng)驗，上海清潔凈化公司解釋了半導(dǎo)體無塵房間的室內(nèi)外能量負(fù)荷，并詳細(xì)說明了半導(dǎo)體無塵房間可能的節(jié)能方法。

 

a.室內(nèi)負(fù)荷：

 

(A)人員(顯熱=6 OKcal h.人，潛熱=5 OKcal h.人)

 

(B)光：30W/(黃光區(qū)這一數(shù)值應(yīng)高出1.5倍)

 

(C)機器負(fù)荷：輸入功率X負(fù)荷系數(shù)循環(huán)冷卻水負(fù)荷=循環(huán)水流量X溫差(溫差約5℃)排氣負(fù)荷=排氣X溫差，其中排氣溫差可分為三類：1酸氣、有機氣體或應(yīng)急排氣溫差一般為5℃，2非可燃?xì)怏w排氣溫差約為10℃(3)，高溫機排氣裝置的排氣溫差約為2O℃。

 

(D)風(fēng)扇的熱負(fù)荷：輸入功率X負(fù)荷系數(shù)

 

b.室外負(fù)荷：

 

外部氣體輸入焓差X室內(nèi)外空氣，這里的外部氣體輸入包括排氣量加上人員通風(fēng)和正壓保持要求。在分析半導(dǎo)體潔凈室能耗時，一般工作分為制造1區(qū)，晶圓廠區(qū)，組裝和測試區(qū)。通常清潔水平和要求因地區(qū)而異，潔凈室的結(jié)構(gòu)也會不同，A。H。U系統(tǒng)，如圖所示，通常與紊流潔凈室組合作為組件或測試區(qū)域，其潔凈室的設(shè)計為紊流型，頂棚不布滿過濾器，過濾器面積與頂棚面積之比必須達到一定值才能保證潔凈度，而對于空氣的分配，過濾器出口通常裝有擴散器，以加強過濾空氣的擴散面積。至于fab區(qū)，目前比較常見的設(shè)置有三種，OPENBAYSYSTEM，F(xiàn)an-FilterUnitSystem和FAN-MODULESYSTEM的原理圖分別如圖2，圖3和圖4所示。一般晶圓廠區(qū)潔凈室型式的選擇必須考慮生產(chǎn)，維護，使用壽命和初投資能耗等因素，必須考慮，三種型式各有優(yōu)缺點，它們的選擇不得不考慮，最佳方案的確定目前尚無定論，仍需做研究，一般認(rèn)為FAN-FILTERUNITSYSTEM和FAN-ModulesSystem具有較大的節(jié)能空間。"。

 

就半導(dǎo)體無塵房間的負(fù)荷特性而言，不論上述三個FAB區(qū)的無塵室內(nèi)類型，暖通空調(diào)的熱負(fù)荷遠高于一般建筑物的熱負(fù)荷，其中建筑物的穿透負(fù)荷、人員負(fù)荷和輕負(fù)荷與一般辦公室的負(fù)荷沒有很大差別，但外部氣體負(fù)荷、機器負(fù)荷和風(fēng)扇負(fù)荷占所有暖通空調(diào)負(fù)荷的90%以上。在這部分，外部氣體負(fù)荷占45%以上。