電子無(wú)塵車間的顯著特點(diǎn)是占地面積大，在裝修前必須明確無(wú)塵車間的標(biāo)準(zhǔn)和布置知識(shí)。電子無(wú)塵車間的標(biāo)準(zhǔn)不應(yīng)大于噪聲級(jí)(空態(tài))，每小時(shí)新風(fēng)量不應(yīng)小于每立方米40次，但要達(dá)到這些標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)特別注意設(shè)備的布置。

 

一、電子無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)

 

1.電子制造廠一萬(wàn)級(jí)潔凈室的噪聲級(jí)(空態(tài))：不應(yīng)超過(guò)65 dB(A)

 

二、垂直流動(dòng)潔凈室全布比不應(yīng)小于60%，水平單向流動(dòng)潔凈室不應(yīng)小于40%，否則為局部單向流動(dòng)。

 

3.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10 Pa，不同空氣清潔度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

 

四、電子制造業(yè)一萬(wàn)級(jí)潔凈室的新風(fēng)量應(yīng)是以下兩項(xiàng)之一：

 

5.補(bǔ)償室內(nèi)排氣量及維持房間正壓值所需的新風(fēng)量之和。

 

6.潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新風(fēng)量不少于每立方米40。

 

ii.電子無(wú)塵工場(chǎng)的布置

 

主要結(jié)果如下：(1)平面由工藝決定，電子工業(yè)清潔廠房的工藝布局應(yīng)適應(yīng)電子產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的靈活性，滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)展的需要。

 

(2)主體結(jié)構(gòu)應(yīng)采用大空間大跨度柱網(wǎng)，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。

 

(3)大型電子工業(yè)清潔廠房中常采用"夾層"結(jié)構(gòu)，即上層技術(shù)層和下層技術(shù)層的多層結(jié)構(gòu)。

 

(四)考慮大型生產(chǎn)過(guò)程設(shè)備的安裝和維護(hù)要求，設(shè)置不影響清潔生產(chǎn)環(huán)境的必要運(yùn)輸渠道和安裝港口或檢查維修港。

 

(5)電子工業(yè)無(wú)塵車間按二級(jí)耐火等級(jí)設(shè)計(jì)。

 

(6)特種氣體的儲(chǔ)存和分配應(yīng)與無(wú)塵車間(區(qū))分開(kāi)，墻的耐火極限不應(yīng)小于1H。有毒硅烷或其混合氣瓶的儲(chǔ)存面積應(yīng)至少三面開(kāi)放，鋼瓶與周圍結(jié)構(gòu)或柵欄之間的距離應(yīng)大于3M，儲(chǔ)存區(qū)域內(nèi)設(shè)置的遮陽(yáng)篷不得小于350萬(wàn)。

 

(七)電子工業(yè)無(wú)塵車間的裝飾材料，不得使用釋放對(duì)電子產(chǎn)品有影響的物質(zhì)的材料。

 

(八)電子工業(yè)的無(wú)塵車間，與一般的無(wú)塵車間不同，允許送風(fēng)室，吹風(fēng)室應(yīng)與潔凈室更衣室相鄰，單人淋浴房設(shè)計(jì)最多可容納三十人，員工超過(guò)五人時(shí)，應(yīng)有側(cè)門(mén)，人數(shù)過(guò)大或?yàn)榱丝s短通關(guān)時(shí)間，也可以設(shè)置隧道爆破室。

 

(9)對(duì)于高水平無(wú)塵車間，為了盡量不影響氣流的單向和平行性，燈、燈都是凈化的淚形燈和燈籠。

 

(10)電子工業(yè)無(wú)塵車間經(jīng)常根據(jù)生產(chǎn)過(guò)程的要求建立防靜電環(huán)境，以抑制靜電的產(chǎn)生，快速、安全地去除產(chǎn)生的靜電。

 

(11)電子工業(yè)無(wú)塵車間對(duì)微振動(dòng)有特殊要求，在工廠環(huán)境中應(yīng)避免產(chǎn)生振動(dòng)源。

 

(12)除供水及排水的一般規(guī)定外，電子工業(yè)無(wú)塵工場(chǎng)的超大規(guī)模集成電路亦有水的使用標(biāo)準(zhǔn)。