光學(xué)微電子凈化工程的裝飾要求一般包括:
1.清潔生產(chǎn)地區(qū)
2.清潔輔助室(包括人員凈化室、物料凈化室及一些起居室等)
3.管理區(qū)(包括辦公室、職責、管理和休息)
4.設(shè)備面積(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)的應(yīng)用,電氣室,高純水高純煤氣室,冷熱設(shè)備室)
光學(xué)微電子凈化工程裝飾要求,所需材料:
1.凈化廠房的墻板和頂板一般采用50 mm厚的夾芯彩色鋼板,外形美觀,剛性強,弧形墻角、門、窗框等一般采用特殊的氧化鋁型材制成。
二、地面可采用環(huán)氧自流平地板或先進耐磨塑料地板,有防靜電要求,可選用防靜電類型。
3.回風管采用熱轉(zhuǎn)移鋅板制成,并貼上阻燃PF泡沫塑料板,具有良好的凈化和保溫效果。
4.不銹鋼框架為高效風口,美觀干凈,涂鋁板為打孔網(wǎng)板,無銹無塵,應(yīng)清洗。