凈化工程無塵室的溫濕度主要是根據(jù)你的加工工藝要求來確定的，為了滿足加工條件，首選要考慮人的舒適度。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求越來越高，必須達(dá)到一定的溫濕度。例如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光過程中，作為掩模材料的玻璃與硅片之間的熱膨脹系數(shù)差異越來越小。直徑100um的硅片，當(dāng)溫度升高1度時，引起0。

 

濕度過大會造成更多的問題。當(dāng)相對濕度超過55%時，凈化工程的冷卻水壁會凝結(jié)，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，會引起各種事故。相對濕度為50%時容易生銹。凈化工程中控制溫濕度的具體措施是什么？

 

然而，對于大多數(shù)清潔空間，為了防止外部污染的入侵，必須保持內(nèi)部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。維持壓差一般應(yīng)符合以下原則：

 

1.高潔凈度空間的壓力高于低潔凈度空間的壓力。

 

2.無塵房間之間的門應(yīng)向高度清潔的房間敞開。

 

3.清潔空間的壓力高于不清潔空間的壓力。

 

壓差的維持取決于新鮮的風(fēng)量，在這種壓差下，新風(fēng)量應(yīng)能補(bǔ)償間隙泄漏的氣流。因此，壓差的物理含義是無塵室各種間隙泄漏(或滲透)風(fēng)量的阻力。

 

對于隨機(jī)流動的無塵室，由于它主要依靠空氣稀釋來降低室內(nèi)污染程度，所以它主要采用通風(fēng)時間的概念，而不是直接使用速度的概念，而且對室內(nèi)氣流速度也有以下要求。

 

1.風(fēng)口氣流速度不宜過大，與簡易空調(diào)房相比，速度衰減快，擴(kuò)散角大。

 

2.通過水平平面的氣流速度(如側(cè)送時的回流速度)不應(yīng)過大，以免將表面顆粒吹回氣流中，造成再污染，一般不適于干燥0.2米/秒。