1.第一車間內(nèi)的氣流一定要均勻地來回送風(fēng)排風(fēng) 2.第二氣流的送風(fēng)量及風(fēng)速一定要注意,足夠的通風(fēng)換氣才能使無塵生產(chǎn)車間內(nèi)的空氣污染排除; 3.第三無塵生產(chǎn)車間內(nèi)的溫濕度要控制好...
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1、1級:級的 無塵車間 主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對集成電路的精確要求為亞微米。 2、10級: 十級的 無塵車間 主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。 3、100級:百級 無塵...
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